3 g的圆形

Gencoa的第三代小型圆形磁控管——目标直径在2"到5"之间——设计用于在低压范围内工作,包括±45度倾斜调整、气体喷射和用于直流、DC-pulsed、RF和HIPIMS工艺的后箱标准。

该源可以配备各种磁性和机械选项,导致性能优势适合不同的应用,并建立可靠的工作直流,射频,脉冲直流和HiPIMS电源。

关键特性

  • 10 .低压溅射6到102托)
  • 最小的足迹
  • ±45º倾角调整(1°的准确性)
  • 标准目标大小
  • 高产率(HY)磁可用于4"和5"的目标直径
  • 内部气体喷射作为标准
  • 作为RF和HIPIMS的标准后电源箱
  • 易于更换靶材和选择靶材厚度(1-6mm)
  • 用于磁性材料溅射的高强度磁性
  • 间接或直接目标冷却(预先配置)

机械的选择

Gencoa圆形磁控管具有广泛的机械选择。所有磁控管都可用于内部或外部安装,并有以下附加选项:手动或气动百叶窗、烟囱、壁挂式馈通、隐藏和水冷阳极。

下表显示了3G圆形磁控管的不同选项,以及所包含的每个机械选项。单击PDF图标下载所需目标尺寸的尺寸图。

倾斜 注气 工具盒 2” 3” 4”
3 g 内部
3克/ 内部
3 g b 内部
3 g c 内部
3 g e 外部

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