3G圆形

Gencoa的第三代范围的小圆形磁控管 - 以2“至5”的目标直径可用 - 设计用于低压范围,包括±45°倾斜调节,气体喷射和DC,DC-的后效盒脉冲,RF和HIPIMS作为标准过程。

这些来源可以配有各种各样的磁的和机械选项,导致适合不同应用的性能优势,并建立以可靠地使用DC,RF,脉冲DC和HIPIMS电源。

主要特征

  • 低压溅射(10-6到10.-2托尔)
  • 最小的足迹
  • ±45º倾斜角度调节(1°精度)
  • 标准目标尺寸
  • 高产(HY)磁性可用4“和5”目标直径
  • 内部气体注入作为标准
  • 后实用盒作为RF和HIPIMS的标准
  • 易于目标变化和选择目标厚度(1-6mm)
  • 用于磁性材料溅射的高强度磁性
  • 间接或直接目标冷却(预配置)

机械选择

Gencoa圆形磁控磁控磁阻会具有广泛的机械选择。所有磁控管都可以用于内部或外部安装座,附带其他选项:手动或气动快门,烟囱,壁板馈通,隐藏和水冷阳极。

方面

下表显示了3G圆形磁控管的不同选项,以及每个包含的机械选项。单击PDF图标以下载所需目标大小的尺寸图。

倾斜 气体注入 实用盒 2“ 3“ 4“
3G 内部的
3G-A. 内部的
3G-B. 内部的
3G-C. 内部的
3G-E. 外部的

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