3 g的圆形

Gencoa的第三代小型圆形磁控管,目标直径为2“至5”,可在低压范围内工作,包括±45°倾斜调节、气体喷射和一个用于DC、DC-脉冲、RF和HIPIMS工艺的后部实用箱。

这些源可以装上选择的和机械选项,可带来适用于不同应用程序的性能优势,并可与DC、RF、脉冲DC和HiPIMS电源可靠地工作。

关键特性

  • 10 .低压溅射-6到10-2托)
  • 最小的足迹
  • ±45º倾斜角度调整(1°精度)
  • 标准目标大小
  • 高成品率(HY)磁体可用于4”和5”目标直径,提供>40%的目标使用量
  • 内部注气为标准
  • 后实用箱作为射频和HIPIMS的标准
  • 容易改变目标和选择目标厚度(1-6mm)
  • 用于磁性材料溅射的高强度磁性材料
  • 间接或直接目标冷却(预配置)

机械的选择

Gencoa圆形磁控管具有广泛的机械选择。所有的磁控管可用于内部或外部安装,具有以下附加选项:手动或气动百叶窗,烟囱,壁挂式馈通,隐藏和水冷阳极。

下表显示了3G圆形磁控管的不同选项,以及每个包含的机械选项。点击PDF图标下载所需目标尺寸的尺寸图。

倾斜 注气 工具盒 2" 3" 4"
3 g 内部
3克/ 内部
3 g b 内部
3 g c 内部
3 g e 外部

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即将来临的事件

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  • 2021年10月17-21-美国AIMCAL R2R会议
  • 2022年2月17日- NCCAVS 2022年度设备展
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