双矩形

Gencoa双(或双)磁子将所有工艺和设计专业知识结合在一起,实现了一个集成的封装,确保“插入式”最佳运行。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 两个具有不对称磁性设计的磁控管
  • 整体暗空间屏蔽(带有双阴极,目标交替并充当阳极和阴极)
  • 水冷式暗室护罩和后安装板(建议在双配置中使用交流电源时对护罩进行冷却-在涂覆塑料网时尤其重要)
  • 集成气体棒(扇区数量和设计取决于阴极尺寸)
  • 等离子体放电的光纤监测(1区或3区,如果使用目标电压反馈气体控制,则可以排除)
  • Speedflo反应气体控制器

所有这些对于电介质材料的无故障高速反应沉积至关重要。双阴极也可用于导电材料的反应性或非反应性沉积-在这种情况下,电浮暗空间不是必需的。

双溅射阴极的安装方式是灵活的,最常见的类型是悬臂安装,用于腹板涂层,或用于建筑玻璃涂层的插入式、向下溅射。Gencoa将提供整个组件的定制3D模型,以便轻松集成到客户的整体系统方案中。

安装选项

•内部
•外部
•垫片
•悬臂

双阴极非常适合使用反应性工艺进行高速沉积,Gencoa可以使用Gencoa为反应性工艺提供现场或远程工艺调整Speedflo反应气体控制器. 这确保了对材料的高滞后曲线和最高沉积速率的工艺进行稳健控制。要了解Gencoa的Speedflo系列产品,请参阅Speedflo

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