双矩形

Gencoa双(或双)磁子组合所有的工艺和设计的专业知识来实现​​集成的包,以确保“投递”最佳运行。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 两个磁控管用非对称磁路设计
  • 积分暗空间屏蔽(使用双阴极靶交替并且充当阳极和阴极)
  • 水冷暗空间屏蔽和后安装板(冷却防护罩的当在双重配置应用于交流电源建议 - 涂覆塑料薄片时尤其重要)
  • 集成的气体棒(扇区和设计的数量取决于阴极大小)
  • 等离子体放电的光纤监视(1或3区或可以如果使用目标电压反馈控制的气体被排除)
  • Speedflo反应气体控制器

所有上述的是用于介电材料的无故障率高反应沉积是必不可少的。双阴极也可用于导电材料的反应性或非反应性沉积 - 在这种情况下,电浮置的暗空间不是必要的。

对于双溅射阴极安装方式是柔性的具有安装用于网络涂层或插入式,溅射下来建筑玻璃镀膜的最常见类型的悬臂。Gencoa将提供整个组件的定制3D模型,易于集成到客户的整个系统方案。

安装选项

•内部
•外部
•间隔
•悬臂

双阴极使用反应流程和Gencoa可以提供使用反应过程Gencoa的现场或远程过程调谐非常适合用于高速率沉积Speedflo反应气体控制器。这确保了你的材料和最高的沉积速率滞后曲线上的过程中高鲁棒控制。要了解Gencoa的Speedflo的产品范围看Speedflo页。

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