双矩形

Gencoa Double(或双)磁环结合了所有的过程和设计专业知识,实现了确保“下载”最佳操作的集成包。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 两种磁控管,具有不对称磁性设计
  • 整体暗空间屏蔽(带双阴极的目标是交替,充当阳极和阴极)
  • 水冷暗空间屏蔽和后安装板(当AC电源以双配置应用时,建议使用屏蔽的冷却 - 涂层塑料网时特别重要)
  • 集成燃气棒(扇区数量和设计数量取决于阴极尺寸)
  • 等离子体放电的光纤监测(1或3区或如果使用目标电压反馈气体控制)
  • SpeedFlo反应气体控制器

以上所有内容对于无故障的高速高速沉积的介电材料是必不可少的。双阴极还可用于导电材料的反应性或非反应性沉积 - 在这种情况下,电浮动暗空间不是必需的。

用于双溅射阴极的安装风格,具有最常见的悬臂,用于卷筒纸涂层或下载,用于建筑玻璃涂层的溅射。Gencoa将提供整个组件的自定义3D模型,以便于集成到客户整体系统方案。

安装选项

• 内部的
• 外部的
•垫片
•悬臂

双阴极非常适合使用反应工艺的高速率沉积,并且GencoA可以为使用Gencoa的反应过程提供现场或远程过程调整SpeedFlo反应气体控制器。这确保了对您的材料的滞后曲线上的过程的强大控制和最高沉积速率。了解Gencoa的SpeedFlo产品系列speedflo.页。

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