积液细胞

脉冲裂解液池是Nano4Energy和Gencoa合作开发的,是一种融合硒化/硫化的单层溅射的创新解决方案。

在工艺中加入脉冲积液电池,可以在金属溅射过程中引入硒和硫等材料,从而在光伏太阳能电池(CIGS工艺)等应用领域中实现硒和硫的可控注入和分散。

通过将积液细胞与Speedflo结合使用,可以通过过程中的传感器输入实现高度的反馈控制。

关键特性

  • 气体精确控制
  • 响应和快速活跃的阀门
  • 使用Speedflo动态反馈控制
  • 主动可再生反馈控制
  • 气相注入与分散

应用领域包括CIGS、阻挡层的单体蒸气和OLED的有机蒸气。

更多关于脉冲裂解积液细胞的信息可以在Gencoa的9月版中找到技术为中心

SeS传感器

Gencoa开发了一种安装在真空室壁上的方便的传感器,专门用于测量真空室中Se或S的水平。这是一种化学类型的传感器,当硒水平在腔内变化时,提供电压变化。

与石英晶体显示器相比,硒传感器在检测硒输送的变化方面更加敏感和可靠。

该传感器可用于任何过程,通过Gencoa Speedflo控制器或自己的PLC /加热器控制器反馈控制室内的硒含量。

Speedflo控制器与PLC、OPC服务器或窗口接口接口显示信号和控制传感器功能。反馈模式也可通过Se传递源自动调节到一定水平的Se。使用的硒源可以是Gencoa高速脉冲积液细胞PEC,或通过使用阀门积液细胞,或通过温度反馈控制-较慢的速度硒或S调节非阀门积液细胞。

优势

  • 化学传感器-直接测量硒或硫的化学浓度
  • 与其他方法相比成本更低
  • 不突兀,附于室壁
  • 输出电压快速反馈控制阀门蒸气源,如Gencoa PEC
  • 集成传感器和反馈控制包可用于闭环控制

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即将来临的事件

  • 2022年2月17日- NCCAVS 2022年度装备展览会
  • 2022年4月30日至5月5日——SVC Techcon 2022
  • 2022年6月29 - 30日-先进材料展
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