GRS-C
GRS-C是由Gencoa公司设计的悬臂式旋转磁控管，它结合了高承载和功率传递。GRS-C适用于水平滚筒式腹板涂布机，其端块位于炉膛侧壁外，目标在炉膛内旋转。
GRS-C的紧凑特性和目标直径的变化允许多个源位于鼓周围。
其独特的设计解决了溅射过程可靠交付的关键问题，取得了优异的效果。磁阵列角度可以通过手动曲柄或步进电机外部设置。
尽管GRS-C体积紧凑，但它可以与高达2.4米的目标组装，并且具有抗振性和坚固性。它的冷却和电力能力可与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相媲美。
优势
- 可以配备非专有目标吗
- 双密封目标安装和双螺钉目标夹紧
- 高水流
- 市场领先的真空完整性真空密封-优于5x108旋转状态下的泄漏率
- 用于驱动监控的真空密封和旋转编码器的泄漏检查端口
- 易于维护
- 利用Gencoa的高性能磁性包括平衡，不平衡，高强度和DLIM选项
- 低偏转磁棒支撑管
- 独特的密封设计，可靠的运行使其有别于其他竞争对手
- 高电流容量
- 能否与Gencoa气体棒、有源阳极、Optix和Speedflo配合使用
- 阵列角度定位可以在现场进行，无需打破水封或任何拆卸-手动或电机驱动
关键特性
- 目标长度可达1.2米作为水平悬臂，并可达2.4米与外支撑
- 端口安装在腔室外部
- Ø90mm， Ø100mm， Ø125mm和Ø152-165mm的目标
- 3 / 4”ID水连接用于高流量
- 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
- 大电流Harting连接
- 手动或电动阵列定位用于多个基板位置或目标清洗
- 运行速度高达15RPM
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