GRS-C.

GRS-C是由GencoA的悬臂式可旋转的磁控管,它结合了高承载和动力输送。GRS-C用于具有位于腔室侧壁外部的端块的水平鼓型卷筒纸机,以及在腔室内旋转的目标。

GRS-C紧凑的性质和变化的目标直径允许多个源位于滚筒周围。

其独特的设计可以解决可靠的溅射过程提供的关键点,效果极佳。磁阵角度可以通过手曲柄或步进电机外部设置。

尽管其尺寸紧凑,但GRS-C可与高达2.4米的目标组装,耐用和稳健。其冷却和电力能力与市场上最大的悬臂式可旋转磁控磁控管匹配。

好处

  • 可以配有非专有目标
  • 用于目标安装的双密封和双螺钉目标夹紧
  • 高水流量
  • 市场领先真空密封真空完整性 - 优于5x10-8mbar l / s他在旋转下泄漏率
  • 用于真空密封和旋转编码器的泄漏检查端口,用于驱动监控
  • 易于维护
  • 利用Gencoa的高性能磁性,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁铁杆支撑管
  • 独特的密封设计可用于可靠操作,将其与其他竞争对手相结合
  • 高电流能力
  • 可与Gencoa气体棒,活性阳极,oldix和speedflo一起使用
  • 可以在不破坏水密封或任何拆卸 - 手动或电机驱动的情况下原位进行阵列角度定位

主要特点

  • 目标长度高达1.2米,为水平悬臂,出站支持高达2.4米
  • 端口外部安装在室外
  • 住宿Ø90mm,Ø100mm,Ø125mm&ø152-165mm的目标
  • ¾“高流量的ID水连接
  • 直流电机驱动器,具有RS-485接口和可能的PLC集成
  • 高电流HARTING连接
  • 用于多个基板位置或目标清洁的手动或电动阵列定位
  • 运营速度高达15rpm

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