GRS-C

GRS-C是由Gencoa悬臂安装的可转动磁控管,其结合了高负荷轴承和功率输送。所述GRS-C是用于与位于所述腔室侧壁的外侧端部方向块水平方向的滚筒式网涂机,并且目标在腔室内旋转。

所述GRS-C紧凑性质和不同的靶的直径允许多个源被定位在鼓周围。

其独特的设计解决了在以优异的成绩可靠的溅射工艺输送的关键点。磁阵列角度可以通过外部手动曲柄或步进马达来设置。

尽管它的体积大小,GRS-C可至240了目标组装,是防震和鲁棒性。它的冷却和电源容量市场上最大的悬臂式可旋转的磁控管匹配。

优点

  • 可以配备非专有的目标
  • 双密封的目标安装和双螺杆目标夹紧
  • 高水流量
  • 真空密封件的市场领先的真空完整性 - 优于5×10-8毫巴升/秒他下旋转泄漏率
  • 泄漏检查端口用于真空密封件和旋转编码器,用于驱动监测
  • 易于维护
  • 利用Gencoa的高性能磁材,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁铁杆支撑管
  • 独特的密封设计,可靠的运行,从其他竞争对手,它除了
  • 高电流容量
  • 可以结合使用Gencoa气体棒,活性阳极,Optix公司和Speedflo
  • 阵列角度定位可以在原位不破坏水封来执行,或者任何拆卸 - 手动或马达驱动的

主要特点

  • 高达1.2米为水平悬臂的目标长度,和至多与出站支持2.4米
  • 端口外部安装到室
  • 的Ø90mm,Ø100mm,Ø125mm和Ø152-165mm目标住宿
  • 对于高流量¾” ID水连接
  • 与RS-485接口和可能的PLC集成直流电机驱动
  • 高电流雅迪连接
  • 手动或机动阵列定位为多个基板位置或目标清洁
  • 运行速度高达15RPM

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