GRS-C

GRS-C是由Gencoa公司设计的一种悬臂式旋转磁控管,它结合了高承重和电力输送。GRS-C是用于卧式滚筒式卷筒纸涂布机,端块位于箱体侧壁外,目标在箱体内旋转。

GRS-C紧凑的特性和不同的目标直径允许多个源位于鼓周围。

其独特的设计解决了可靠的溅射过程交付和优异的结果的关键。磁性阵列的角度可以通过手摇曲柄或步进电机在外部设置。

尽管GRS-C体积紧凑,但它可以与高达2.4米的目标组装在一起,而且具有防震和坚固性。它的冷却和功率能与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相匹配。

优势

  • 可以安装非专有目标吗
  • 双密封的目标安装和双螺丝的目标夹紧
  • 高水流
  • 市场领先的真空密封完整性-优于5x10-8mbar l/s旋转时泄漏率
  • 用于真空密封和旋转编码器的泄漏检查端口用于驱动监测
  • 易于维护
  • 采用Gencoa的高性能磁性,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁棒支持管
  • 独特的密封设计,可靠运行,使其有别于其他竞争对手
  • 高电流容量
  • 可与Gencoa气体棒,主动阳极,Optix和Speedflo
  • 阵列角度定位可以就地进行,无需打破水封或任何拆卸-手动或电机驱动

关键特性

  • 目标长度高达1.2米作为水平悬臂,和高达2.4米与外支撑
  • 端口安装在舱室外部
  • 住宿目标为Ø90mm、Ø100mm、Ø125mm、Ø152-165mm
  • 3 / 4“内径水接头,适用于高流量
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 大电流Harting连接
  • 手动或电动阵列定位多个衬底位置或目标清洁
  • 操作速度高达15RPM

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