GRS-C

GRS-C是Gencoa公司生产的悬臂安装可旋转磁控管，它结合了高承载能力和功率传输。GRS-C适用于水平滚筒式卷筒纸涂布机，其端块位于腔室侧壁外部，目标在腔室内旋转。

GRS-C紧凑的特性和不同的目标直径允许多个源位于转鼓周围。

其独特的设计解决了可靠的溅射工艺交付的关键点，并取得了优异的效果。磁性阵列角度可通过手动曲柄或步进电机进行外部设置。

尽管GRS-C尺寸紧凑，但其可装配高达2.4m的目标，且具有防震性和坚固性。其冷却和功率容量与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相匹配。

优势

• 可安装非专有目标
• 用于目标安装的双密封件和用于目标夹紧的双螺钉
• 高水流
• 真空密封的市场领先真空完整性–优于5x10^-8mbar l/s旋转时的He泄漏率
• 用于真空密封件的泄漏检查端口和用于驱动监控的旋转编码器
• 易于维护
• 利用Gencoa的高性能磁性，包括平衡、不平衡、高强度和DLIM选项
• 低偏转磁条支撑管
• 独特的密封设计，运行可靠，使其区别于其他竞争对手
• 大电流容量
• 可与Gencoa气体棒、活性阳极、Optix和Speedflo一起使用
• 阵列角度定位可在不破坏水封或任何拆卸的情况下就地执行-手动或电机驱动

主要特征

• 作为水平悬臂，目标长度不超过1.2米，带有向外支撑，目标长度不超过2.4米
• 端口安装在腔室外部
• Ø90mm、Ø100mm、Ø125mm和Ø152-165mm目标的可容纳性
• ¾“ID高流量水接头
• 带有RS-485接口和可能的PLC集成的直流电机驱动
• 大电流哈丁连接
• 手动或电动阵列定位，用于多基板定位或目标清洁
• 操作速度高达15转/分

陈列室