GRS-M

GRS-M产品是一种高容量的“滴入式”可旋转磁控管,用于垂直或水平方向的目标直径为152毫米及以上,目标长度可达2米。

由于采用了Gencoa专利的旋转驱动系统,GRS-M不仅能够适应高目标负载,而且所需的空间也减少了。为了最大限度地利用紧凑的性质,因此,GRS-M是垂直显示涂布机或水平在线涂布系统的理想选择。

当与活性阳极结合更高的速率和质量氧化物和ITO层产生。

优势

  • 双密封,双螺丝固定
  • 独特的专利驱动系统提供了紧凑和高容量的端块设计
  • 高流量(60升/分钟)
  • 市场领先的完整性真空密封-优于5x10-8mbar l/s He在旋转下的泄漏率
  • 利用Gencoa的高性能磁性包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁棒支撑管
  • 是否可以采用双结构的活性阳极来实现更高的密度、低缺陷和低应力层
  • 独特的密封设计,运行可靠,有别于其他同类产品
  • 受限空间均匀度高,端块外缘至赛道107mm
  • 可与Gencoa气体棒、活性阳极、Optix和Speedflo

关键特性

  • 可能达到2米长的目标,根据重量和方向的不同可能会更大
  • 安装在下降到腔室开口的法兰
  • 迁就Ø152mm目标
  • 1 " ID快速释放水接头,适用于高流量
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 电源连接:直流通过7/16或AC/DC通过Harting
  • 操作速度可达15RPM
  • 单或双单位可以安装在一个单一的法兰板
  • 完整的drop-in组件可配置Active anode、多层气体输送棒和驱动/水监控

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