GRS-M

GRS-M产品是一种高容量的可旋转磁控管,在垂直或水平方向上,目标直径为152毫米及以上,目标长度为2米。

在能够适应高目标负载的同时,Gencoa专利的旋转驱动系统减少了GRS-M所需的空间。为了充分利用其紧凑的特性,GRS-M是垂直显示涂布机或水平在线涂布系统的理想选择。

当与活性阳极结合时,可以产生更高速率和质量的氧化物和ITO层。

优势

  • 双密封目标安装和双螺钉目标固定
  • 独特的专利驱动系统提供了紧凑和高容量的端块设计
  • 高流量(60 l/min)
  • 市场领先的真空密封完整性-优于5x108旋转状态下的泄漏率
  • 利用Gencoa的高性能磁性包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁棒支撑管
  • 是否可以采用双配置的有源阳极,以获得更高的密度,低缺陷和低应力层
  • 独特的密封设计,可靠的运行使其有别于其他竞争对手
  • 密闭空间均匀度高,从端块外缘到赛道107mm
  • 能否与Gencoa气体棒、有源阳极、Optix和Speedflo配合使用

关键特性

  • 目标长度可达2米,根据重量和方向的不同,目标长度更大
  • 法兰安装在一个腔室的开口上
  • Ø152mm目标的调整
  • 1”ID快速释放水连接高流量
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 电源连接:直流7/16或AC/DC通过Harting
  • 运行速度高达15RPM
  • 单个或双单元可以安装在单个法兰板上
  • 完整的插入式组件可与活动阳极,多区域气体输送棒和驱动/水监测

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Gencoa的主要设施位于南利物浦。点击方向>