GRS-M

所述GRS-M产物是一种高容量“插入式”可转动磁控管进行152毫米及以上,且达2m的目标长度的目标直径,在垂直或水平方向。

虽然能够适应高目标负荷,所需的GRS-M的空间减小作为Gencoa的结果专利旋转驱动系统。为了充分利用的紧凑性质,GRS-M是因此理想的垂直显示涂布机或水平在线涂布系统。

当与活性阳极更高的速率和质量的氧化物和ITO层合并产生的。

好处

  • 双密封的目标安装和双螺杆固定目标
  • 独特专利的驱动系统提供了紧凑和高容量的结束块设计
  • 高水流量(60升/分钟)
  • 真空密封件的市场领先的完整性 - 优于5×10-8毫巴升/秒他下旋转泄漏率
  • 利用Gencoa的高性能磁材,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁铁杆支撑管
  • 可以结合在双重配置的有源阳极为更高的密度,低缺陷和低应力层
  • 独特的密封设计,可靠的运行,从其他竞争对手,它除了
  • 高均匀性在密闭的空间,从端块的外边缘107毫米到跑道
  • 可以结合使用Gencoa气体棒,活性阳极,Optix公司和Speedflo

主要特点

  • 长达2m长的目标有可能,这取决于根据重量和方向在较大
  • 凸缘安装到下降到腔室开口
  • 的Ø152mm目标住宿
  • 对于高流量1” ID快速释放水连接
  • 与RS-485接口和可能的PLC集成直流电机驱动
  • 电源连接:通过DC 7/16或AC / DC通过雅迪
  • 运行速度高达15RPM
  • 单或双单元可以被安装在一个单一的凸缘板
  • 完全落于提供与Active阳极,多区气体输送酒吧和驱动器/水监测组件

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