GRS-V

GRS-V是Gencoa公司的一款垂直安装可旋转磁控管,是Gencoa可旋转系统产品系列的最新产品。GRS-V具有高功率和水流能力,优秀的端块真空完整性,并具有排水功能,便于在腔内更换目标。

其独特的设计解决了在可靠的溅射过程交付高容量应用的关键问题。GRS-V端块和磁性阵列的设计是为了降低装饰和功能性涂层环境的所有权成本。

GRS-V是一种专门设计的垂直源,包含了电机或手动调整赛道角度位置的关键特征。GRS-V是针对显示涂布线或静态玻璃,也批量涂布装饰和硬涂层和高功率金属化塑料零件。

优势

  • 可以使用不同的目标直径
  • 双密封用于目标安装,双螺丝用于目标夹紧
  • 快速释放磁铁棒,用于室内目标更换
  • 可变目标到室板的距离(请在订单上注明)
  • 高流量和功率输送
  • 市场领先的真空密封的完整性-优于5x108mbar l/s旋转泄漏率,>动态密封3年使用寿命保证
  • 易于维护
  • 可与Gencoa气体棒、有源阳极、Optix和Speedflo一起使用
  • 反方向预清洗目标的阵列角度定位
  • 垂直向下方向不需要外接支持
  • 利用Gencoa为不同生产需求设计的高性能磁性:
    • 反应离子辅助沉积极不平衡(硬涂层)
    • 塑料装饰涂料用PP不平衡磁性材料
    • HS高强度用于ITO、磁性靶材和大功率金属化
    • 双低阻抗磁性材料,具有高密度,低应力层
    • Gencoa可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁布局,可选的现场工艺安装

关键特性

  • 3米长的目标
  • 舷窗安装在舱室外部
  • 100年90年Ø住宿,ØØ125 &Ø152毫米的目标
  • 用于高流量的水接头
  • 目标旋转直接驱动-无张紧皮带
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 大电流高压电源连接
  • 用于多基片位置或目标清洗的手动或电动阵列定位
  • 操作速度可达每分钟15转

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