GRS-V

GRS-V是垂直安装的可转动磁控管由Gencoa,最近除了Gencoa可旋转式系统的产品范围。所述GRS-V具有高功率容量和水流量,优良的末端块真空完整性,并且具有用于在所述腔室内容易目标变化的排水功能。

其独特的设计解决了可靠的溅射工艺输送大批量应用的关键点。所述GRS-V端块和磁阵列被设计成减少拥有成本的装饰性和功能性涂层的环境。

所述GRS-V是一个专门设计的垂直源和包括电机或赛道角位置的手动调节的关键特征。所述GRS-V的目的是显示涂布机,带有线上或静态玻璃,也批量涂布机用于装饰和硬涂层和塑料部件的高功率金属化。

好处

  • 可以使用不同的目标直径
  • 双密封的目标安装和双螺杆目标夹紧
  • 在腔的目标变化快速释放磁棒
  • 可变目标室板距离(请上顺序指定)
  • 高水流量和电力输送
  • 真空密封件的市场领先的完整性 - 优于5×10-8毫巴升/秒他下旋转>3年动态密封寿命保证泄漏率
  • 易于维护
  • 可配合使用Gencoa气棒,活性阳极,威捷和Speedflo
  • 在相反方向上进行预清洗对象阵列角度定位
  • 垂直向下姿态无需出境支持
  • 利用Gencoa的设计不同产品的生产需要高性能磁材:
    • XPP极不平衡为反应离子辅助沉积(硬涂层)
    • PP不平衡磁材用于塑料装饰涂层
    • HS高强度ITO,磁性目标和高功率金属化
    • DLIMAA,双低阻抗磁性与活性阳极更高的密度,更低的应力层
    • Gencoa可以为不同的电源模式和应用可选的现场安装过程中提供完整的系统磁布局

主要特点

  • 高达3米的长目标
  • 端口外部安装到室
  • 的Ø90,Ø100,Ø125及Ø152毫米目标住宿
  • 对于高流量¾” ID水连接
  • 目标转动的直接驱动 - 无皮带张紧
  • 与RS-485接口和可能的PLC集成直流电机驱动
  • 高电流雅迪电源连接
  • 手动或机动阵列定位为多个基板位置或目标清洁
  • 运行速度高达15RPM

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