GRS-V.

GRS-V是GencoA的垂直安装的可旋转磁控管,最近添加到GencoA可旋转系统产品系列。GRS-V具有高功率容量和水流,优异的端块真空完整性,并且具有水排放特征,以便在腔室内易于目标变化。

其独特的设计可以解决高批量应用的可靠溅射过程中的关键点。GRS-V端块和磁阵列旨在降低装饰和功能涂层环境的所有权成本。

GRS-V是一个设计的垂直源,包含电机的关键特性或手动调节赛道轨道角位置。GRS-V针对具有在线或静态玻璃的涂布器,也是用于装饰和硬涂层和塑料部件的高功率金属的涂料涂层器。

好处

  • 可以使用不同的目标直径
  • 双密封件用于目标安装和双螺钉目标夹紧
  • 用于室内目标的快速释放磁杆
  • 变腔板距离的可变目标(请指定订单)
  • 高水流和电力输送
  • 市场领先的真空密封完整性 - 优于5x10-8MBAR L / S HE泄漏速度旋转,> 3年动态密封寿命保证
  • 易于维护
  • 可以与Gencoa气体棒,活性阳极,optix和speedflo一起使用
  • 阵列角度定位用于在反向上的清洁目标
  • 垂直下降方向不需要过束缚的支持
  • 利用Gencoa的高性能磁性设计,专为不同的生产需求:
    • XPP对于无反应离子辅助沉积极其不平衡(硬涂层)
    • PP不平衡磁性塑料装饰涂层
    • HS高强度为ITO,磁性目标和高功率金属化
    • Dlimaa,具有高密度的活性阳极的双低阻抗磁性,低音压力层
    • GencoA可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁性布局,具有可选的现场流程安装

主要特征

  • 最多3米的目标
  • 港口外部安装在室外
  • 住宿Ø90,Ø100,Ø125&Ø152mm的目标
  • ¾“高流量的ID水连接
  • 直接驱动目标旋转 - 没有张紧带
  • 直流电机驱动器,具有RS-485接口和可能的PLC集成
  • 高电流HARTING电源连接
  • 手动或电动阵列定位多个基板位置或目标清洁
  • 运营速度高达15rpm

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