GRS-V

GRS-V是Gencoa公司的一款垂直安装的可旋转磁控管,是Gencoa旋转系统产品系列的最新产品。GRS-V具有高功率容量和水流,优异的端块真空完整性,并具有排水功能,便于在腔室内更换目标。

其独特的设计解决了高容量应用的可靠溅射过程交付的关键点。GRS-V端块和磁阵列的设计旨在降低装饰和功能性涂层环境的拥有成本。

GRS-V是一个目的设计的垂直源,包含电机或手动调整赛道角度位置的关键功能。GRS-V主要用于内联或静态玻璃的显示镀膜,也用于装饰、硬镀膜和塑料零件的大功率金属化的批量镀膜。

优势

  • 可以使用不同的目标直径
  • 双密封的目标安装和双螺丝的目标夹紧
  • 快速释放磁铁棒内目标改变
  • 可变靶与腔板距离(请在订购时注明)
  • 高水流和动力输送
  • 市场领先的完整性真空密封-优于5x10-8mbar l/s He在旋转下的泄漏率和> 3年的动态密封寿命保证
  • 易于维护
  • 可与Gencoa气体棒,活性阳极,Optix和Speedflo
  • 反方向阵列角度定位预清洗目标
  • 垂直向下方向不需要外接支撑
  • 利用Gencoa的高性能磁体设计,以满足不同的生产需求:
    • XPP极不平衡反应离子辅助沉积(硬涂层)
    • 聚丙烯不平衡磁性材料,用于塑料装饰涂料
    • HS高强度ITO,磁靶和高功率金属化
    • DLIMAA,双低阻抗磁有源阳极更高的密度,更低的应力层
    • Gencoa可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁布局,并可选择现场工艺安装

关键特性

  • 长达3米的目标
  • 端口安装在腔室外部
  • 适应Ø90, Ø100, Ø125和Ø152 mm目标
  • 适用于高流量的¾”ID水接头
  • 直接驱动目标旋转-无张紧带
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 大电流Harting电源连接
  • 手动或电动阵列定位多衬底位置或目标清洁
  • 操作速度可达15RPM

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