GRS-V

GRS-V是Gencoa公司的一款垂直安装的可旋转磁控管，是Gencoa旋转系统产品系列的最新产品。GRS-V具有高功率容量和水流，优异的端块真空完整性，并具有排水功能，便于在腔室内更换目标。

其独特的设计解决了高容量应用的可靠溅射过程交付的关键点。GRS-V端块和磁阵列的设计旨在降低装饰和功能性涂层环境的拥有成本。

GRS-V是一个目的设计的垂直源，包含电机或手动调整赛道角度位置的关键功能。GRS-V主要用于内联或静态玻璃的显示镀膜，也用于装饰、硬镀膜和塑料零件的大功率金属化的批量镀膜。

优势

• 可以使用不同的目标直径
• 双密封的目标安装和双螺丝的目标夹紧
• 快速释放磁铁棒内目标改变
• 可变靶与腔板距离(请在订购时注明)
• 高水流和动力输送
• 市场领先的完整性真空密封-优于5x10^－8mbar l/s He在旋转下的泄漏率和> 3年的动态密封寿命保证
• 易于维护
• 可与Gencoa气体棒，活性阳极，Optix和Speedflo
• 反方向阵列角度定位预清洗目标
• 垂直向下方向不需要外接支撑
• 利用Gencoa的高性能磁体设计，以满足不同的生产需求:
  • XPP极不平衡反应离子辅助沉积(硬涂层)
  • 聚丙烯不平衡磁性材料，用于塑料装饰涂料
  • HS高强度ITO，磁靶和高功率金属化
  • DLIMAA，双低阻抗磁有源阳极更高的密度，更低的应力层
  • Gencoa可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁布局，并可选择现场工艺安装

关键特性

• 长达3米的目标
• 端口安装在腔室外部
• 适应Ø90， Ø100， Ø125和Ø152 mm目标
• 适用于高流量的¾”ID水接头
• 直接驱动目标旋转-无张紧带
• 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
• 大电流Harting电源连接
• 手动或电动阵列定位多衬底位置或目标清洁
• 操作速度可达15RPM

画廊