硬涂料

自20世纪90年代中期以来,Gencoa一直在开发工艺和磁控管,用于工具涂层,我们的工作人员之间的丰富经验使Gencoa能够为硬涂层应用提供最佳解决方案。

在硬涂层领域使用的Gencoa产品和服务包括:

  • GRS-V带选项VTR和Active Anodes的可旋转磁控管
  • 高能量不平衡平面磁控管(PP型)
  • VT和VTR变量磁控管
  • SpeedFlo反应气体过程控制器
  • Optix真空气体监测器
  • 完整的腔室磁模拟以优化电离水平
  • 过程例程和现场实施
  • 成功反应过程的泵送和气体计算

为了提供优化的硬质或装饰涂层单元,需要精心理解和设计各种元素。有两个选项:从已建立的制造商处购买完整的转弯设施或购买关键组件并以正确的方式集成。如果采用组件路线,需要实施过程例程以创造工具粘附,硬度和韧性的平衡。Gencoa可以提供并结合这些组件的所有元素,以确保成功解决方案的最高机会。

成功的基于溅射的硬涂层工艺的关键元件是反应气体控制。SpeedFlo单元提供高速气体控制以优化速率,并在涂布过程中能够改变设定点。这提供了高度的稳定性和高速率过程。预先编程的例程可装入SpeedFlo单元,该单元可以创建层结构的分级性质。其他基本元素是为致密涂层结构提供足够的电离而不需要过高的衬底偏压(高偏置导致脆涂层)。Gencoa拥有设计机几何形状的经验,可以创建正确的过程环境。没有所需的电离水平,成功的层结构将很难创造。

通常的反应气体反馈控制方法是从等离子体收集光信号作为金属平衡与反应气体的指示,一种称为等离子体排放监测(PEM)的方法。Gencoa现在已经开发出SpeedFlo单元,以便仅从目标电压直接控制典型的硬涂层。这种非常理想的解决方案避免了位于处理室内或在过程室内或纤维光学的成本和不便。

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