硬质涂层

Gencoa一直在开发刀具涂层工艺和磁控管自1990年代中期,我们的工作人员在该应用中的经验早Gencoa的形成。

Gencoa是因此在一个位置,以提供最佳的解决方案。

  • GRS-V可旋转磁控管与选项VTR和Active阳极
  • 高能量不平衡平面磁控管阴极(PP型)
  • VT和VTR可变磁控管
  • Speedflo反应气体处理控制器
  • Optix公司真空气体监测器
  • 全室磁建模来优化离子化水平
  • 工艺程序和现场实施
  • 抽水和天然气计算成功的反应过程

到的元素需要仔细理解和正确设计提供优化的硬或装饰性涂层单元各种各样。有两种选择:从已有的生产厂家购买了完整的交钥匙工厂或购买关键部件和以正确的方式进行整合。如果组件路线取处理例程需要被实现来创建工具附着力,硬度和韧性的平衡。Gencoa可以提供和组合这些组件的所有要素,以确保一个成功的解决方案的机会最高。

一个成功的基于溅射硬包衣工艺中的关键因素是反应气体控制。所述Speedflo单元提供一个高速气体控制来优化速率和在涂覆过程使设定值的变化。这提供了高度的稳定性和高的速率的过程。预编程的例行程序可被加载到所述Speedflo单元,它可以创建的层结构的分级性质。另一基本要素是提供一种致密的涂层结构足以电离而不需要过高的衬底偏置(高偏压导致脆涂层)。Gencoa具有设计,可以营造合适的工艺环境的机器几何形状的经验。如果没有电离所要求的水平,一个成功的层结构将难以建立。

反应性气体的反馈控制的通常方法是从血浆作为金属的平衡,反应性气体的指示,被称为等离子体发射监控(PEM)的方法收集的光信号。现在Gencoa已经开发出了Speedflo单元,用于控制典型的硬包衣处理从仅目标电压直接。这种高度期望的解决方案避免了成本和位于内或在处理室纤维光学的不便。

相关产品

产品手册

下载Gencoa最新的PDF副本产品手册