硬涂层

自20世纪90年代中期以来,Gencoa一直在开发工具涂层的工艺和磁控管,我们的员工在这方面的经验早于Gencoa的形成。

因此,Gencoa能够提供最优的解决方案。

  • GRS-V可旋转磁控管,可选择VTR和有源阳极
  • 高能不平衡平面磁控管阴极(PP型)
  • VT和VTR可变磁控管
  • Speedflo反应气体过程控制器
  • Optix真空气体监测仪
  • 完成室磁模型,优化电离水平
  • 工艺流程及现场实施
  • 泵送和气体计算成功的反应过程

为了提供一个优化的硬涂层或装饰涂层单元,需要仔细理解和正确设计各种元素。有两种选择:从一个已建立的制造商购买一个完整的交钥匙设施,或购买关键部件并以正确的方式集成。如果采用组件路线,则需要执行工艺规程,以创造工具附着力、硬度和韧性的平衡。Gencoa可以提供并组合这些组件的所有元素,以确保最大的成功机会。

成功的溅射硬涂层工艺的关键是反应气体控制。Speedflo装置提供了高速气体控制,以优化速率,并在涂覆过程中改变设定值。这提供了高度的稳定性和高速率的过程。可以将预先编程的例程加载到Speedflo单元中,从而创建分层结构的分级性质。另一个基本要素是为致密涂层结构提供足够的电离,而不需要太高的衬底偏置(高偏置导致涂层脆性)。Gencoa有设计机器几何形状的经验,可以创建正确的工艺环境。如果没有所需的电离水平,就很难创造出成功的层状结构。

反应性气体反馈控制的常用方法是从等离子体中采集光信号,作为金属与反应性气体平衡的指示,这种方法称为等离子体发射监测(PEM)。Gencoa现在已经开发了Speedflo装置,可以直接从目标电压控制典型的硬涂层过程。这种非常理想的解决方案避免了位于工艺室内或上的光纤的成本和不便。

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