线性离子源

Gencoa线性离子源的长度为200-4700mm，可以在薄膜沉积之前对大面积聚合物和玻璃基板进行修改或预清洗。

基于反向磁控管原理，Gencoa线性离子源产生一束准直等离子体，轻轻蚀刻基底，燃烧碳氢化合物并激活表面以促进沉积薄膜的粘附。

与传统技术不同的是，Gencoa的离子源bob软件下载苹果与石墨阳极和阴极组装在一起，保护衬底不受污染，防止离子源的侵蚀。这些电源是间接冷却的，最大限度地减少了电源的维护。

一个典型的操作涉及使用直流电源，其他电源模式-如脉冲直流-也适用。

为了优化电源的性能，Gencoa开发了一种专用的电压调节电源，具有集成气体流量控制。气体调节反馈回路控制保持相同的电流在任何时候-确保没有变化的光束输出。

Gencoa的线性离子源可与多种安装选项组装，并可与相关订购IM3000电源．

关键特性

• 优化磁场，在标准溅射压力下产生准直等离子体束流
• 气体自动调节，保持恒流恒压，多种气体自动控制
• 石墨阳极和阴极保护衬底免受污染，并提供长寿命的组件
• 所有离子源的射频标准电绝缘
• 阳极和阴极的间接冷却。零件的快速切换
• 阴极部件易于切换，提供多个低电压操作磁阱，或聚焦光束
• 带气体调节反馈的稳压电源，在任何时候保持相同的电流

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