活性氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子体源是一种用于预处理和自由基辅助溅射的新解决方案,与传统的射频和微波功率气体源相比具有关键优势。

该气源可提供高电流密度用于基片处理,并且可以将气源长度组合为4米,而不存在任何功率缩放问题。

在氧气和磁场存在的情况下,电力在两个水冷电极之间转换。由此产生的等离子体电离氧气体物种,也提供了一个电子淋浴中和,以避免电荷积聚在衬底上。

双电极从正极切换到负极,并提供稳定和高度均匀的等离子体。

在低温处理过程中,防护罩采用水冷却的方式,而且源的工作过程中没有涂层或碎片,因此无需清洗。

关键特性

- 0.2米到4米的源长度,没有功率或缩放问题
-每米长度等离子体电极电流高达40安培
- 70 eV能量的高活化气体
-增加气体动能,辅助层氧化和预清洗
-纯气体等离子体-电极无腐蚀
——没有维护
-自中和开关等离子体电势,可提供正负轰击
-成本低于射频和微波等离子体产生设备

画廊

下载

产品宣传册

下载Gencoa最新版本的PDF副本产品宣传册