活化氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子体源是用于预处理和自由基辅助溅射这可提供比传统的射频和微波供电气体源关键益处新的解决方案。

该气体源输送的衬底处理高电流密度,并且可以具有高达4米的源长度被组装而没有任何功率缩放问题。

功率在氧气的存在和磁场2水冷电极之间切换。最终的等离子体电离氧气物种,并且还提供了一种电子簇射进行中和,其在基板上避免了电荷积聚。

双电极从正切换到负和提供了一个稳定和高度均匀的等离子体。

屏蔽件冷却低温处理水,将源,而涂布或碎屑,这因此消除用于清洁任何要求进行操作。

主要特点

- 0.2米到4M源长度没有权力或结垢问题
- 最多等离子体电极电流40安培每米长度
- 高活性气体种类与70电子伏特的能量
- 增加了气体的动能来辅助层氧化和预清洗
- 纯气体等离子体 - 无电极蚀刻
- 无维修
- 自中和切换等离子体电位提供正反两方面的炮击
- 更低的成本比RF和微波等离子体生成装置

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