活性氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子源是一种用于预处理和自由基辅助溅射的新解决方案,与传统的射频和微波气体源相比具有重要的优势。

该气体源提供高电流密度的基板处理,并可以组装的源长度高达4米,没有任何功率缩放问题。

在有氧气和磁场的情况下,电源在两个水冷电极之间切换。所产生的等离子体将氧气离子化,还提供了用于中和的电子簇射,从而避免电荷在衬底上积聚。

双电极开关从正到负,并提供稳定和高度均匀的等离子体。

屏蔽是水冷用于低温处理,并且源运行时没有涂层或碎片,因此无需任何清洗要求。

关键特性

- 0.2米至4米源长度,无电源或缩放问题
-等离子体电极电流每米高达40安培
-具有70 eV能量的高活性气体种类
-增加气体动能,帮助层氧化和预清洗
-纯气体等离子体-电极无蚀刻
——没有维护
-自中和开关等离子体电位提供正和负轰击
-比射频和微波等离子体产生设备成本更低

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