活性氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子体源是一种新的预处理和激进辅助溅射解决方案,可在传统的RF和微波供电的气体源上提供重点效益。

气体源为基板处理提供高电流密度,并且可以在没有任何电力缩放问题的情况下组装高达4M的源长度。

在氧气和磁场存在下,在两个水冷电极之间切换电力。得到的等离子体电离氧气气体,还提供用于中和的电子淋浴,这避免了衬底上的电荷积聚。

双电极从阳性切换到阴性,并提供稳定且高度均匀的等离子体。

屏蔽是低温处理的水冷却,并且源在没有涂层或碎片的情况下运行,因此消除了任何要求的清洁要求。

主要特征

- 0.2m至4M源长度,没有电源或缩放问题
- 每米长度最多40个等离子体电极电流
- 高度活性的气体物种,70 EV能量
- 添加气体的动能,以帮助层氧化和预清洁
- 纯气等离子体 - 无电极蚀刻
- 没有维护
- 自我中和切换等离子体潜力,提供正负轰炸
- 低于RF和微波等离子体生成装置的成本

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Gencoa的主要设施位于南利物浦。点击指示>