optix.

Optix是一种高度坚固且灵敏的多功能仪器,可用于任何真空环境中的气体传感,通过各种操作压力运作,以满足所有工业真空生产过程,而无需差动泵送任何要求。

Optix使用远程等离子体光谱概念,在传感器头内产生小等离子体,然后通过其内置光谱仪分析。光谱自动解释为提供定量测量作为相关气体的分压的真空内的气体存在和浓度。随着等离子体光检测器位于真空外,它几乎不可能打破仪器。

Optix产生等离子体,并在宽压力范围内感测气体,而无需差动泵送系统。它自动在0.5毫巴上打开和关闭,并将准确的压力和气体信息降至10-6毫巴。

OPTIX光谱信息和复杂的后端软件为所有真空用户提供一系列用途,在易于使用和多功能的界面内:宽范围压力测量;泄漏检测;真空质量监测;过程抽水分析;气体和分子分析;状态监测和故障检测;快速处理反馈和流量控制;终点检测;气体流动校准和组成比率。

在感测CVD和ALD型过程的情况下,对设备进行小的变化,以防止污染等离子体头。通过小型粗泵也可以从气氛中感测,使气体进入传感器。

Optix非常便携,并且很容易在不同的真空系统之间切换或在小盒子中携带到客户网站。它还为专用泄漏检测提供超高灵敏度单气选项。

应用/流程

•ALD
•CVD.
•蚀刻
• 热处理
•泄漏检测
•MOCVD.
•OLED.
•等离子喷涂
•过程气体分析
•PVD.

压力制度优势

•直接在最常见的真空工艺压力下运​​行
•无需昂贵/复差泵
•没有来自差动泵系统的虚假读数
•直接监控真空立即注册任何更改(M / SEC响应)
•比RGA和差动泵组合昂贵

界面

一个高级Windows用户界面提供了清晰可视化过程和真空的条件,以及用于录制和引用数据的强大工具,可轻松识别过程问题。

软件功能

•原子和分子发射签名的内置频谱数据库
•自动频谱解释
•自动或用户定义的物种的时间绘图
•用于终点检测或过程控制的可自定义触发器设置
•全面的数据记录和数据引用能力
•真空质量跟踪器
•泄漏检测模式

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