optix.

Optix是一种用于在任何真空环境中快速气体感测的多功能仪器,通过各种操作压力运作,以满足最具工业真空生产过程,除非大气采样,否则除非差动泵送系统。

通过光学窗口与化学品分离,Optix使用远程等离子体光谱概念,该概念在传感器头内产生小等离子体。内置光谱仪分析等离子体,自动解释光谱,以提供真空内气体存在和浓度的定性测量。

Optix谱信息和复杂的后端软件为各种应用产生了一系列用途,包括涉及烃,溶剂和长链聚合物的污染过程。

在感测CVD和ALD型过程的情况下,对设备进行小的变化,以防止污染等离子体头。从大气中感测,也可以使用小型粗泵将气体带入传感器。

Optix非常便携,并且在不同的真空系统或手工携带的小盒子上轻松切换到客户网站。它还为专用泄漏检测提供超高灵敏度单气选项。

操作压力范围比较,Gencoa Optix和RGA

应用/流程

•ALD
•CVD.
•蚀刻
• 热处理
•泄漏检测
•MOCVD.
•OLED.
•等离子喷涂
•过程气体分析
•PVD.

压力制度优势

•宽压力范围,直接在大多数过程压力下操作
•无需昂贵/复杂的差动泵
•没有来自差动泵系统的虚假读数
•没有细丝和低维护
•用ALD和CVD流程的专用版本化学宽容
•自动校准总压力读数
•直接监控真空立即注册任何更改(M / SEC响应)
•比RGA和差动泵组合更便宜

界面

一个高级Windows用户界面提供了清晰可视化过程和真空状态,以及用于录制和引用数据的强大工具,可轻松识别过程问题。

可以在同时波长上监视高达20个气体,工艺气体跟踪可以用触发/报警输出设置。

完整可调调谐的频谱视图(200-850nm)提供了对灵敏度调节的集成时间的控制,并且可以从气体自动识别数据库进行自动气体峰值检测,该数据库可以被调整以结合特定兴趣的额外峰值。

软件功能

•原子和分子发射签名的内置频谱数据库
•自动频谱解释
•自动或用户定义的物种的时间绘图
•可定制触发器设置,用于终点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据引用能力
•真空质量跟踪器
•泄漏检测模式

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