Optix公司

Optix公司是用于任何真空环境气体感测一个高度可靠和灵敏的,多功能仪器,通过广泛的而不用于差动泵浦的任何要求的操作压力,以满足所有的工业真空生产过程的运作。

Optix公司使用,其产生所述传感器头内的小等离子体的远程等离子体光谱法的概念,然后通过其内置的光谱仪进行分析。光光谱被自动解释,以提供表示为相关气体的分压的真空内的存在和气体的浓度的定量测量。作为等离子体光检测器位于所述真空外,这是几乎不可能打破仪器。

Optix公司产生在宽的压力范围内的等离子体,并感测气体,而不需要一个差动泵浦系统。它可以自动地接通和断开,在0.5毫巴和提供精确的压力和气体向下信息10-6毫巴。

所述Optix公司频谱信息和复杂的后端软件创建的范围内的简单的用途所有真空用户使用和多功能接口的:宽范围压力测量;泄漏检测;真空质量监控;流程泵向下的分析;气体和分子分析;状态监测和故障检测;快速处理反馈和流量控制;终点检测;气体流量校准和组成比。

小的变化,以在感测CVD和ALD类工艺的情况下,设备制造中,为了防止等离子头的污染。从大气感测也可以用小粗抽泵,以使气体进入传感器。

Optix公司是非常便携和不同的真空系统或随身携带的一个小方块的客户站点之间容易地切换。它还提供了专用泄漏检测的超高灵敏度单一气体选项。

应用程序/进程

•ALD
•CVD
•蚀刻
• 热处理
•检漏
•MOCVD
•OLED
•等离子喷涂
•过程气体分析
•PVD

压力体系优势

•直接在最常见的真空工艺操作压力
•无需昂贵/复杂的差分泵
•没有从差动泵系统虚假读数
•直接监测真空的瞬间寄存器的任何变化(米/秒反应)
•明显比RGA和差分泵组合更便宜

接口

先进的Windows用户界面提供了方法和真空,以及用于记录和引用数据功能强大的工具的状况清晰的可视使易于识别的过程中出现问题。

软件功能

•内置频谱数据库原子和分子发射签名
•自动频谱解释
•时间曲线自动或用户定义的种类
•可定制触发设置开终点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据引用能力
•真空质量跟踪器
•泄漏检测模式

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