电源
的IM300和iM3000提供Gencoa IM类型的线性和圆形等离子体源的完整解决方案。所有的操作源所需的功能都内置。
唯一的用户动作是连接高压电缆和质量流量控制器。
必要的控制序列和功率传递由IM300和iM3000控制器执行。
该单元装备有现代的，基于IGBT谐振转换器和整体操作与微控制器子系统处理。
这两个单元可以提供〜2.8kV击电压和2.5A短路电流。
最大输出功率是用于IM300 500W @ 2500V的输出电压和4000W @ 2000V输出voltage.for的iM3000
内置的软件可以驱动外部质量流量控制器至十个分量在预设值的源极电压（这样该射束能量）。在IM300的特点和iM3000使安装，操作和等离子体源的调节非常简单。
产品规格
| iM3000 | IM300 | |
| 单元 | 架19“ 4 HU | 1/2架19" 3 HU |
| 主要 | 400 VAC 3相 | 240或110 VAC与开关选择内 |
| 电压击 | 3 Kvolt阳性 | 3 KVolt阳性 |
| 额定电压 | 2500 V / 4千瓦 | 2500 V / 500瓦特 |
| 短路电流 | 2一 | 300毫安 |
| 调节模式 | 电流（5毫安分辨率） | 电流（0.5毫安分辨率） |
| 输出接口 | FISHER HV母模105 | BNC SHV女 |
| MFC | 2个通道模拟0/5 VDC | 2个通道模拟0/5 VDC |
| 显示 | 触摸屏240×128像素 | 触摸屏240×128像素 |
| 互锁/远程 | 9针d类型 | 9针d类型 |
| RS 232 | 9针d类型 | 9针d类型 |
| 调节模式 | 内部costant气流或气体反馈（costant电压），经由外部RS 232或模拟用户端口 | 内部恒定的气流或气体反馈（恒定电压），经由外部RS 232或模拟用户端口 |
