电源

IM300和IM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供完整的解决方案。操作源所需的所有功能都是内置的。

唯一的用户动作是连接高压电缆和质量流量控制器。

必要的控制序列和电力传递由IM300和IM3000控制器执行。

该装置配备了现代的IGBT基于谐振转换器,并使用微控制器子系统处理整体操作。

两个单元都可以提供〜2.8kV的撞击电压和2.5A短路电流。

MAX输出功率为500W @ 2500V输出电压为IM300和4000W @ 2000V输出电压。对于IM3000

内置的软件可以将外部质量流量控制器驱动到预设值的源极电压(且梁能量)。IM300和IM3000的功能使等离子体源的设置,操作和调节非常直接。

规格

IM3000 IM300.
单元 机架19“4胡 1/2机架19“3胡
主要的 400 vac 3 ph 带有开关选择器的240或110 Vac
电压撞击 3 kvolt阳性 3 kvolt阳性
标称电压 2500 V / 4 KW 2500 V / 500瓦特
短路电流 2 A. 300马
调节模式 电流(5毫安分辨率) 电流(0.5 mA分辨率)
输出连接器 Fisher HV女性Mod 105 BNC Shv女
MFC 2通道模拟0/5 VDC 2通道模拟0/5 VDC
展示 触摸屏240 x 128像素 触摸屏240 x 128像素
联锁/遥控器 9针D型 9针D型
卢比232. 9针D型 9针D型
调节模式 内部成本衰退气体流量,或气体反馈(成本电压),通过外部RS 232或模拟用户端口 内部恒定气体流量,或气体反馈(恒定电压),通过外部RS 232或模拟用户端口

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