电力供应

iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。所有操作源代码所需的函数都是内置的。

用户唯一的动作是连接高压电缆和质量流量控制器。

iM300和iM3000控制器执行必要的控制顺序和电源输送。

该装置配备了一个现代化的、基于IGBT的谐振变换器,并由一个微控制器子系统处理总体操作。

两套机组均能提供约2.8kV的冲击电压和2.5A的短路电流。

iM300最大输出功率为500W @2500V输出电压,4000W @2000V输出电压。为iM3000

内置的软件可以驱动外部质量流量控制器,使源电压(以及束能量)保持在预设值。iM300和iM3000的特点使等离子体源的设置、操作和调节非常直接。

规范

iM3000 iM300
单位 机架19 " 4胡 1/2机架19" 3胡
主要 400 VAC 3 Ph值 240或110 VAC与开关选择内
电压罢工 3 Kvolt积极 3 KVolt积极
额定电压 2500 V / 4千瓦 2500 V / 500瓦特
短路电流 2 300毫安
监管模式 电流(5ma分辨率) 电流(0.5 mA分辨率)
输出连接器 FISHER HV母模105 BNC SHV女
MFC 2通道模拟0/5 VDC 2通道模拟0/5 VDC
显示 触摸屏240 x 128像素 触摸屏240 x 128像素
联锁/远程 9引脚D型 9引脚D型
RS 232 9引脚D型 9引脚D型
监管模式 内部恒定气体流量,或气体反馈(恒定电压),通过外部rs232或模拟用户端口 内部恒定气体流量,或气体反馈(恒定电压),通过外部rs232或模拟用户端口

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