电源
IM300和IM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供完整的解决方案。操作源所需的所有功能都是内置的。
唯一的用户动作是连接高压电缆和质量流量控制器。
必要的控制序列和电力传递由IM300和IM3000控制器执行。
该装置配备了现代的IGBT基于谐振转换器，并使用微控制器子系统处理整体操作。
两个单元都可以提供〜2.8kV的撞击电压和2.5A短路电流。
MAX输出功率为500W @ 2500V输出电压为IM300和4000W @ 2000V输出电压。对于IM3000
内置的软件可以将外部质量流量控制器驱动到预设值的源极电压（且梁能量）。IM300和IM3000的功能使等离子体源的设置，操作和调节非常直接。
规格
| IM3000 | IM300. | |
| 单元 | 机架19“4胡 | 1/2机架19“3胡 |
| 主要的 | 400 vac 3 ph | 带有开关选择器的240或110 Vac |
| 电压撞击 | 3 kvolt阳性 | 3 kvolt阳性 |
| 标称电压 | 2500 V / 4 KW | 2500 V / 500瓦特 |
| 短路电流 | 2 A. | 300马 |
| 调节模式 | 电流（5毫安分辨率） | 电流（0.5 mA分辨率） |
| 输出连接器 | Fisher HV女性Mod 105 | BNC Shv女 |
| MFC | 2通道模拟0/5 VDC | 2通道模拟0/5 VDC |
| 展示 | 触摸屏240 x 128像素 | 触摸屏240 x 128像素 |
| 联锁/遥控器 | 9针D型 | 9针D型 |
| 卢比232. | 9针D型 | 9针D型 |
| 调节模式 | 内部成本衰退气体流量，或气体反馈（成本电压），通过外部RS 232或模拟用户端口 | 内部恒定气体流量，或气体反馈（恒定电压），通过外部RS 232或模拟用户端口 |
