产品

通过经验和广泛的技术诀窍,Gencoa能够提供完整的溅射解决方案。提供大型磁选选项的矩形和可旋转磁控量由我们的离子源系列提供用于预清洁和工艺工具,如强大的SpeedFlo Process控制器和Optix真空监视器。

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内部和外部安装的市场上最广泛的矩形磁控管。

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从新设计的HV来源到更长的产品,Gencoa的圆形磁控磁控磁控磁控磁控磁控管可供磁力和机械选项。

optix.

Gencoa的最新产品释放:真空传感器通过各种压力提供精确的测量。

speedflo.

Gencoa的流行反应过程控制器 - 有两种选项,每个选项都提供了一种传感器配置。

旋转

GencoA可旋转系统(GRS)磁控族家族的性能和灵活性提供最终。

等离子体源

线性和圆形源,在薄膜沉积之前提供预清洗聚合物和玻璃基板的稳健和柔韧的方法。

电源

用于为GencoA IM型线性和圆等离子体源提供完整解决方案的电源。

积液细胞

纳米4ENERGY和Gencoa之间的协作开发,为单堆溅射提供创新解决方案。

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产品手册

下载Gencoa最新的PDF副本产品手册