矩形VTFLEX

Gencoa VTF是VTech系列产品中最新加入的产品,它可以提供简单和精确的薄膜均匀性调整,具有调节溅射层均匀性至1%以下的无限灵活性。

Gencoa的VTFLEX磁控管能够独立调节等离子赛道两侧的小段磁场强度。不同的部分是由一个手动数字定位器调整,增加或减少场强在当地地区。这些片段可以在两个方向上收缩或倾斜,这使得赛道上的场强发生平滑或“急剧”的变化。

调整场强的能力将导致等离子体密度的变化,因此,溅射到基板上的材料的数量。由于可能的强度变化是广泛的,VTF磁控管可以用来纠正在一个在线系统的末端的均匀性或作为一个独立的源提供比标准更好的均匀性。

总的灵活性允许相对容易地实现小于1%的均匀性。在此过程中还可以进行调整,以纠正随时间变化的均匀性变化。

VTF磁控管在需要高均匀性的大面积射频溅射过程中特别有用。更常见的直流和MF型功率模式可进行调整,以达到对某些产品更高的均匀性要求。

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Gencoa的主要工厂位于利物浦南部。点击方向>