矩形VTFLEX

Gencoa VTF是VTech系列产品的最新产品,具有无限的灵活性,可将溅射层的均匀性调整到低于1%的范围,提供简单和精确的薄膜均匀性调整。

Gencoa的VTFLEX磁控管能够在等离子体跑道两侧的小段上独立调节磁场强度。通过手动数字定位器调整不同的部分,增加或减少局部区域的场强。这部分可以缩回或倾斜在任何一个方向,这允许平滑或“尖锐”的变化,在赛道上的场强。

磁场强度的调节能力将导致等离子体密度的变化,从而改变溅射到基片上的材料数量。由于强度可能发生的变化范围很广,VTF磁控管可用于在线系统末端的均匀性校正,或作为独立源提供比标准更好的均匀性。

总的灵活性允许相对容易地实现小于1%的一致性。在这个过程中,还可以进行调整,以纠正偏移,使之与时间一致。

VTF磁控管特别适用于需要大面积射频溅射过程的高均匀性的场合。更常见的直流和中频型功率模式可以调整,以达到某些产品要求的更高的均匀性。

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