改造磁性

在一些情况下,在不需要或期望更换完整的磁控管阴极之外,GencoA可以提供替代磁系统以适合现有的阴极体。这是一种升级当前系统性能的成本效益的方法。

在几乎所有情况下,都可以适合我们的标准平衡(SW)或不平衡(PP)磁性系统。在70%的情况下,可以适应我们的高产率(HY)磁石。

更换磁铁的可能原因包括以下内容:

  • 磁体有缺陷
    • 位于水中的磁铁腐蚀(非常常见)
    • 过热和脱气的磁铁
  • 增加目标利用率
  • 增加低压/电压或磁性材料溅射的磁场强度
  • 改善圆形和矩形几何形状中的涂层均匀性
  • 通过不平衡磁场来提高等离子体反应性和能量
  • 通过避免与系统阳极阳极的闭合磁场相互作用来减少电弧
  • 实现更清洁的目标,特别是在反应溅射中

接触[电子邮件受保护]根据您当前的阴极和所需磁通的细节,讨论平面磁控管改装的可用选项。

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