改造磁材

在某些情况下,没有必要或期望来替换一个完整的磁控管阴极,可能的是Gencoa提供一种替代磁系统来装配到现有的阴极体。这是升级现有系统的性能的具有成本效益的方法。

几乎在所有情况下,可以适应我们的标准平衡(SW)或不平衡(PP)磁系统。在70%的病例有可能适合我们的高产(HY)型磁性元件。

可能的原因来替代磁铁是包括以下内容:

  • 有缺陷的磁铁
    • 位于水磁体腐蚀(非常常见)
    • 过加热和磁铁的消磁
  • 为了提高靶材利用率
  • 为了增加磁场强度为低压/电压或磁性材料溅射
  • 为了提高在这两个圆形和矩形几何形状涂布均匀
  • 由不平衡磁场增强等离子体反应性和能量
  • 为了通过避免与系统阳极闭磁场相互作用减少电弧放电
  • 为了实现清洁的目标,尤其是在反应溅射

联系[电子邮件保护]与您现有的阴极的细节和所需磁材,讨论平面磁控改造可用的选项。

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产品手册

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