半导体

半导体是采用PVD技术规模最大，历史最悠久的工业部门。bob软件下载苹果

在成立以来的行业使用蒸发技术形成层，但由于其固有的可控性迅速采用基于溅射的解决方案。该部门传统上使用或者是“集群工具”或“内联”的做法。这两种方法都仍然被广泛使用，并且它们通过该晶片是否是涂覆（成组工具）在静态，或者（在线）涂层期间过去磁控管移动简单地分开。

集群工具解决方案widespead与市场上超过50个商业产品。

Gencoa的圆形磁控管提供半导体市场非常不错的选择。

• 3G圆形磁控管具有小的覆盖区和与±45°的角度调整，群集工具可以很容易地设置
• 圆形FFE对于任何晶片尺寸可用，可达600mm目标直径
  • 12" 用于FFE 8" 晶片用的1-3％的均匀性
  • 高目标使用完美的珍贵靶材
  • 高均匀性的小目标衬底分离
  • 活性二氧化硅，氧化铝，氮化硅过程可以溅射
• Speedflo反应流控制器，用于控制完全反应过程
• Optix公司的流程优化，抽空时间减少，工艺知识

如果您有关于半导体市场的具体过程更多的问题，请联系我们的专家，我们会找到你的概念和涂布到硅片的最佳解决方案。