半导体

半导体是使用PVD技术规模最大、历史最悠久的行业。bob软件下载苹果

一开始,该部门使用蒸发技术来形成层,但由于其固有的可控性,很快采用了基于溅射的解决方案。这个部门传统上要么使用“集群工具”,要么使用“内联”方法。这两种方法仍在广泛使用,它们的区别仅仅在于,在涂层过程中晶圆是静态的(簇工具),还是在涂层过程中移动过磁控管(在线)。

集群工具解决方案非常广泛,市场上有超过50个商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了非常好的选择。

  • 3G圆形磁控管占地面积小,±45°角度调节,集群工具可以轻松设置
  • 圆形FFE可用于任何晶圆尺寸,目标直径可达600mm
    • 8”晶圆片12”FFE,均匀度为1- 3%
    • 高靶材使用,适合贵重靶材使用
    • 均匀性高,目标基片分离小
    • 活性SiO2、Al2O3、SiN工艺均可溅射
  • Speedflo无功流量控制器完全控制的反应过程
  • Optix为工艺优化,泵送时间减少,工艺知识

如果您对半导体市场的具体工艺有更多的问题,请联系我们的专家,我们将为您的概念和晶圆涂层找到最佳的解决方案。