半导体

半导体是采用PVD技术规模最大,历史最悠久的工业部门。bob软件下载苹果

在成立以来的行业使用蒸发技术形成层,但由于其固有的可控性迅速采用基于溅射的解决方案。该部门传统上使用或者是“集群工具”或“内联”的做法。这两种方法都仍然被广泛使用,并且它们通过该晶片是否是涂覆(成组工具)在静态,或者(在线)涂层期间过去磁控管移动简单地分开。

集群工具解决方案widespead与市场上超过50个商业产品。

Gencoa的圆形磁控管提供半导体市场非常不错的选择。

  • 3G圆形磁控管具有小的覆盖区和与±45°的角度调整,群集工具可以很容易地设置
  • 圆形FFE对于任何晶片尺寸可用,可达600mm目标直径
    • 12" 用于FFE 8" 晶片用的1-3%的均匀性
    • 高目标使用完美的珍贵靶材
    • 高均匀性的小目标衬底分离
    • 活性二氧化硅,氧化铝,氮化硅过程可以溅射
  • Speedflo反应流控制器,用于控制完全反应过程
  • Optix公司的流程优化,抽空时间减少,工艺知识

如果您有关于半导体市场的具体过程更多的问题,请联系我们的专家,我们会找到你的概念和涂布到硅片的最佳解决方案。

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