半导体

半导体是使用PVD技术规模最大、历史最悠久的行业。bob软件下载苹果

一开始，该部门使用蒸发技术来形成层，但由于其固有的可控性，很快采用了基于溅射的解决方案。这个部门传统上要么使用“集群工具”，要么使用“内联”方法。这两种方法仍在广泛使用，它们的区别仅仅在于，在涂层过程中晶圆是静态的(簇工具)，还是在涂层过程中移动过磁控管(在线)。

集群工具解决方案非常广泛，市场上有超过50个商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了非常好的选择。

• 3G圆形磁控管占地面积小，±45°角度调节，集群工具可以轻松设置
• 圆形FFE可用于任何晶圆尺寸，目标直径可达600mm
  • 8”晶圆片12”FFE，均匀度为1- 3%
  • 高靶材使用，适合贵重靶材使用
  • 均匀性高，目标基片分离小
  • 活性SiO2、Al2O3、SiN工艺均可溅射
• Speedflo无功流量控制器完全控制的反应过程
• Optix为工艺优化，泵送时间减少，工艺知识

如果您对半导体市场的具体工艺有更多的问题，请联系我们的专家，我们将为您的概念和晶圆涂层找到最佳的解决方案。