半导体

半导体是使用PVD技术的最大和最长的行业部门。bob软件下载苹果

在初始的界面上使用蒸发技术来形成层，但由于其固有的可控性而迅速采用了基于溅射的解决方案。该部门传统上使用了“群集工具”或“内联”方法。两种方法仍然广泛使用，并且仅通过在涂覆（簇工具）期间晶片是静止的，或者在涂层（在线）期间移动磁控管来分化。

群集工具解决方案具有超过50个商业产品的WIDESPEAD。

Gencoa的圆形磁控磁阻为半导体市场提供了很好的选择。

• 3G圆形磁控管具有小的占地面积，并且具有±45°角调节，可以轻松设置群集工具
• 用于任何可用晶片尺寸的圆FFE，目标直径高达600mm
  • 12“FFE 8”晶片，均匀性为1-3％
  • 高目标使用完美的珍贵目标材料
  • 具有小目标基质分离的高均匀性
  • 可以溅射反应性SiO2，Al2O3，SIN工艺
• SpeedFlo反应流量控制器，用于完美控制的反应过程
• OPTIX进行过程优化，减少时间减少，过程知识

如果您对半导体市场的特定流程有更多疑问，请联系我们的专家，我们将为您的概念和涂层找到最佳解决方案。