半导体

半导体是使用PVD技术规模最大、历史最悠久的行业。bob软件下载苹果

起初，该部门使用蒸发技术来形成层，但由于其固有的可控性，很快采用了基于溅射的解决方案。这个领域传统上使用的要么是“集群工具”，要么是“内联”方法。这两种方法仍然被广泛使用，它们的区别仅仅在于涂层过程中晶圆是静态的(簇工具)，还是在涂层过程中移动过磁控管(在线)。

集群工具解决方案非常广泛，市场上有50多种商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了非常好的选择。

• 3G圆形磁控管占地面积小，可调节±45°角度，可以轻松设置集群工具
• 圆形FFE可用于任何晶圆尺寸，最高可达600mm目标直径
  • 8”晶片的12”FFE均匀度为1- 3%
  • 高目标使用，对珍贵的目标材料完美
  • 高均匀性，目标衬底分离小
  • 反应性SiO2, Al2O3, SiN过程可以溅射
• Speedflo反应流控制器，完美控制反应过程
• Optix用于工艺优化，减少泵停时间，工艺知识

如果您对半导体市场的具体工艺有更多的疑问，请与我们的专家联系，我们将为您的概念和硅片涂层找到最佳的解决方案。