半导体

半导体是使用PVD技术规模最大、历史最悠久的行业。bob软件下载苹果

起初,该部门使用蒸发技术来形成层,但由于其固有的可控性,很快采用了基于溅射的解决方案。这个领域传统上使用的要么是“集群工具”,要么是“内联”方法。这两种方法仍然被广泛使用,它们的区别仅仅在于涂层过程中晶圆是静态的(簇工具),还是在涂层过程中移动过磁控管(在线)。

集群工具解决方案非常广泛,市场上有50多种商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了非常好的选择。

  • 3G圆形磁控管占地面积小,可调节±45°角度,可以轻松设置集群工具
  • 圆形FFE可用于任何晶圆尺寸,最高可达600mm目标直径
    • 8”晶片的12”FFE均匀度为1- 3%
    • 高目标使用,对珍贵的目标材料完美
    • 高均匀性,目标衬底分离小
    • 反应性SiO2, Al2O3, SiN过程可以溅射
  • Speedflo反应流控制器,完美控制反应过程
  • Optix用于工艺优化,减少泵停时间,工艺知识

如果您对半导体市场的具体工艺有更多的疑问,请与我们的专家联系,我们将为您的概念和硅片涂层找到最佳的解决方案。

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