单矩形

Gencoa Planar矩形磁控磁控器结合了低所有性成本,强大的设计和高度优化的磁性,以产生可靠的产品,提供高性能。我们的矩形磁控磁控管几乎可用于几乎所有类型的工业涂料应用,包括半导体,建筑玻璃和显示器涂层。

一种独特的设计,包括“零高度”阳极防止过程中的短路,减少涂层中的灰尘和缺陷。所有来源都加入后法兰板冷却,作为标准和额外的阳极水冷却是可选的。

根据应用程序,GencoA可以配置各个阴极以满足特定的过程要求和限制。还提供OEM专有的磁控磁阻设计和制造服务,并且可以使用Gencoa的2D和3D格式下载阴极CAD尺寸数据绘图发电机(需要注册)。

磁性

高产(HY)范围达到40%的目标利用率,并建议在需要增加机器上升或降低材料成本的应用中。

金属化器(MZ)范围是用于纤维网,汽车零件和装饰应用的高速金属化。采用专门设计的厚型厚度目标和高水流,MZ系列可以将机器上限增加100%。

VTECH(VTER)范围专用于离子辅助沉积过程,其中通过原位改变磁场的原位改变可以自动改变对生长膜的等离子体的影响程度。

铁磁(HS)(环绕)溅射选项高达6mm镍和2mm铁(HS)磁性或定制磁性布置,以适应GencoA(环)磁性的铁磁材料。

高均匀性(胡)用于优化磁场均匀性的磁性磁场要求。这超出了GencoA标准磁场扫描和QC,可以提供优于1%(TBC)的磁场均匀性

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