单矩形

Gencoa Planar矩形磁控管结合了低所有性成本,强大的设计和高度优化的磁性,以生产可靠的产品,提供高性能。我们的矩形磁控磁控管几乎可用于几乎所有类型的工业涂料应用,包括半导体,建筑玻璃和显示器涂层。

一种独特的设计,包括“零高度”阳极防止过程中的短路,并减少涂层中的灰尘和缺陷。所有来源都加入了后法兰板冷却,作为标准和额外的阳极水冷却是可选的。

根据应用程序,GencoA可以配置各个阴极以满足特定的过程要求和限制。还提供OEM专有磁控磁控磁控磁阻设计和制造服务,并且可以使用Gencoa的2D和3D格式下载阴极CAD尺寸数据绘图发电机(需要注册)。

主要特点

  • 选择优化磁性的强大
  • RF标准电绝缘
  • 用于增强流量和目标冷却的两个水输入/输出
  • 零高度阳极,以防止短路和电弧
  • 具有可选择水冷或Zonal气体注入的整体阳极

磁性

高产(HY)范围达到40%的目标利用率,建议在需要增加机器上升或降低材料成本的应用中。

金属化器(MZ)范围是用于纤维网,汽车零件和装饰应用的高速金属化。采用专门设计的厚型成型目标和高水流,MZ范围可以将机器上升100%。

VTECH(VTER)范围专用于离子辅助沉积工艺,其中通过原位改变磁场的原位改变,可以自动改变对生长膜的等离子体的程度。

铁磁(HS)(环绕)溅射选项高达6mm镍和2mm的铁(HS)磁性或定制磁性布置,以适应GencoA(环)磁性的铁磁性材料。

高均匀性(胡)用于优化磁场均匀性的磁性磁场要求。这超出了GencoA标准磁场扫描和QC,并且可以提供优于1%(TBC)的磁场均匀性

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