单矩形

Gencoa Planar矩形磁控管结合了低所有性成本，强大的设计和高度优化的磁性，以生产可靠的产品，提供高性能。我们的矩形磁控磁控管几乎可用于几乎所有类型的工业涂料应用，包括半导体，建筑玻璃和显示器涂层。

一种独特的设计，包括“零高度”阳极防止过程中的短路，并减少涂层中的灰尘和缺陷。所有来源都加入了后法兰板冷却，作为标准和额外的阳极水冷却是可选的。

根据应用程序，GencoA可以配置各个阴极以满足特定的过程要求和限制。还提供OEM专有磁控磁控磁控磁阻设计和制造服务，并且可以使用Gencoa的2D和3D格式下载阴极CAD尺寸数据绘图发电机（需要注册）。

主要特点

• 选择优化磁性的强大
• RF标准电绝缘
• 用于增强流量和目标冷却的两个水输入/输出
• 零高度阳极，以防止短路和电弧
• 具有可选择水冷或Zonal气体注入的整体阳极

磁性

高产（HY）范围达到40％的目标利用率，建议在需要增加机器上升或降低材料成本的应用中。

金属化器（MZ）范围是用于纤维网，汽车零件和装饰应用的高速金属化。采用专门设计的厚型成型目标和高水流，MZ范围可以将机器上升100％。

VTECH（VTER）范围专用于离子辅助沉积工艺，其中通过原位改变磁场的原位改变，可以自动改变对生长膜的等离子体的程度。

铁磁（HS）（环绕）溅射选项高达6mm镍和2mm的铁（HS）磁性或定制磁性布置，以适应GencoA（环）磁性的铁磁性材料。

高均匀性（胡）用于优化磁场均匀性的磁性磁场要求。这超出了GencoA标准磁场扫描和QC，并且可以提供优于1％（TBC）的磁场均匀性

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