单矩形

Gencoa平面矩形磁控管结合了低拥有成本、坚固的设计和高度优化的磁性,以生产出可靠的高性能产品。我们的矩形磁控管用于几乎所有类型的工业涂层应用,包括半导体、建筑玻璃和显示器涂层。

独特的设计结合了“零高度”阳极,防止了工艺过程中的短路,减少了涂层中的灰尘和缺陷。所有电源都将后法兰盘冷却作为标准配置,附加阳极水冷却是可选的。

根据应用情况,Gencoa可以配置单个阴极以满足特定的工艺要求和限制。还提供OEM专有磁控管设计和制造服务,可使用Gencoa下载2D和3D格式的阴极CAD尺寸数据绘图生成器(需要注册)。

磁学

高产(HY)范围达到40%的目标利用率,建议用于需要增加机器启动时间或降低材料成本的应用。

金属化器(MZ)该系列产品适用于腹板、汽车零件和装饰应用的高速金属化。使用特别设计的厚剖面目标和高水流,MZ范围可以将机器的启动时间增加100%。

Vtech(VTER)该系列致力于离子辅助沉积工艺,其中等离子体对生长薄膜的影响程度可通过现场改变磁场自动改变。

铁磁性(HS)和(回路)溅射选项,用于通过(HS)磁性或定制磁性排列,以适合Gencoa(回路)磁性中的铁磁性材料,最多可用于6mm镍和2mm铁。

高均匀性(HU)磁性优化磁场均匀性,以满足苛刻的应用要求。这超出了Gencoa标准磁场扫描和质量控制,可提供优于1%(待定)的磁场均匀性

陈列室

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相关应用

产品手册

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