Speedflo

完美你与Speedflo,先进的无功反馈控制系统提供改善的沉积速率,涂层性能和工艺可靠性反应过程。Speedflo是围绕着实际过程的需求,并已被证明对数百种不同的工业基于等离子的沉积机 - 每个不同的需求。

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可用两个选项 - 提供8个信道用于Speedflo,或3个通道用于Speedflo赠送的选择 - Speedflo有弹性,有益于多种反应性工艺,从磁控溅射到PECVD沉积。

Speedflo自动调谐

实现系统的高性能控制是使用Speedflo一个快速和容易的过程。获得专利的,国家的最先进的自动控制器整定程序提供的一个按钮的点击过程最佳的控制器参数。所述自动调谐过程是快速和有效的 - 和任何系统或传感器配置内的工作原理。

执行集成系统校准和识别过程后,自动调谐器立即通过使用先进的逆动力学算法来分析所收集的数据生成用于您的过程的最佳控制器参数。

整个过程需要几分钟的时间,并且完全适合实际流程的需求。

支持与技术bob软件下载苹果

Gencoa可以提供远程或现场帮助帮助优化流程,并在英国,美国,德国,中国和台湾地区提供本地支持。水平支撑和工艺诀窍补Gencoa的完整的反应性气体和过程控制的建立,包括磁控管,气棒,和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo赠送可各自具有从选择可用的传感器的传感器选项的组合用于:
•目标电压(可选项HIPIMS)
•PEM原位(HIPIMS可选项)
•光谱仪(不适用于Speedflo迷你)
•PEM易地(潘宁)
•LAMBDA为O²只

Speedflo模拟器

复制Speedflo用户界面使用工具,其提供Speedflo系统的动态模拟。从工艺控制的Gencoa的深入了解中受益,该软件模拟Speedflo的效果等功能控制器增益和校准参数,除了系统特性,例如气体输送管的长度。

该模拟器是一个非常有效的工具,可以提高反馈控制的系统用户的理解,以及对Speedflo系统的操作。

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