speedflo.

使用SpeedFlo完善您的反应过程,一种先进的无功反馈控制系统,可改善沉积速率,涂层性能和工艺可靠性。SpeedFlo围绕真实流程的要求设计,并已被证明是数百种不同的工业等离子体的沉积机器 - 每个沉积机都有不同的需求。

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有两种选择 - 为SpeedFlo提供8个通道,或3个用于SpeedFlo Mini - SpeedFlo的3个通道具有灵活性,可以灵活地从磁控溅射到PECVD沉积的各种反应过程。

speedflo自动调整

实现您的系统的高性能控制是使用SpeedFlo快速且简单的过程。专利最先进的自动控制器调谐过程为您的过程提供了最佳的控制器参数,单击按钮。自动调整过程快速有效 - 并在任何系统或传感器配置中工作。

执行集成系统校准和识别过程后,自动调谐器通过使用高级逆动态算法来分析收集的数据,即可立即为过程产生最佳控制器参数。

整个程序需要几分钟,完全适合实际过程的需求。

支持和技术bob软件下载苹果

Gencoa可以提供远程或现场帮助,帮助您在英国,美国,德国,中国和台湾提供当地支持。支持和流程技术级别补充Gencoa的完整反应气和过程控制设置,包括磁控管,燃气条和控制器。

传感器

SpeedFlo和SpeedFlo Mini可以通过选择可用的传感器的选择组合使用传感器选项:
•目标电压(可用HIPIMS选项)
•PEM原位(可用HIPIMS选项)
•光谱仪(不适用于SpeedFlo Mini)
•PEM ex-situ(PENING)
•仅适用于O²的Lambda

speedflo模拟器

使用提供SpeedFlo系统的动态模拟的工具复制SpeedFlo用户界面。从Gencoa的深入了解过程控制的深入了解,该软件除了诸如气体输送管长度等系统特性之外,软件还模拟了SpeedFlo功能的效果,如控制器增益和校准参数。

模拟器是一种高效的工具,可以改善系统用户对反馈控制的理解,以及SpeedFlo系统的操作。

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