Speedflo

Speedflo是一种先进的反应反馈控制系统,可改善沉积速率、涂层性能和工艺可靠性。Speedflo是围绕实际过程的需求而设计的,并已在数百台不同的工业等离子体沉积机上得到验证——每台都有不同的需求。

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Speedflo有两种选择——为Speedflo提供8个通道的选择,或为Speedflo Mini提供3个通道——Speedflo具有灵活性,有利于广泛的反应过程,从磁控溅射到PECVD沉积。

Speedflo调音

实现高性能控制您的系统是一个快速和容易的过程使用Speedflo。一项专利,最先进的自动控制器调整程序,提供最佳的控制器参数,为您的过程按一下按钮。自动调整程序是快速和有效的-和工作在任何系统或传感器配置。

执行综合系统校准和识别程序后,自动调谐器立即生成最优控制器参数为您的过程使用先进的逆动力学算法来分析收集的数据。

整个过程只需几分钟,完全符合实际过程的要求。

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在英国、美国、德国、中国和台湾,Gencoa可以提供远程或现场协助,帮助您优化流程。该水平的支持和工艺技术补充了Gencoa完整的反应气体和工艺控制设置,包括磁控管,气体棒,和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo Mini都可以配置一系列传感器选项:
•目标电压(可用HIPIMS选项)
•PEM原位(可用HIPIMS选项)
•光谱仪(Speedflo Mini不提供)
•PEM移位(Penning)
•表示O非常

Speedflo模拟器

使用提供Speedflo系统动态模拟的工具复制Speedflo用户界面。得益于Gencoa对过程控制的深入理解,该软件除了模拟气体输送管道长度等系统特性之外,还模拟了控制器增益和校准参数等Speedflo特性的效果。

仿真器是一种非常有效的工具,可以提高系统用户对反馈控制的理解,以及对Speedflo系统的操作。

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