Speedflo

Speedflo是一款先进的无反应反馈控制系统,可提高沉积速率、涂层性能和工艺可靠性。Speedflo是围绕实际工艺的需求而设计的,并已在数百种不同的工业等离子沉积机上得到验证——每一台都有不同的需求。

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Speedflo有两种选择——Speedflo有8个通道可供选择,Speedflo Mini有3个通道可供选择——Speedflo具有灵活性,可以受益于各种反应过程,从磁控溅射到PECVD沉积。

Speedflo调音

使用Speedflo实现系统的高性能控制是一个快速和简单的过程。一项专利,最先进的自动控制器调整程序,为您的过程提供最佳的控制器参数单击一个按钮。自动调优过程是快速和有效的-并工作在任何系统或传感器配置。

在执行集成系统校准和识别程序后,自动调谐器通过使用先进的逆动力学算法分析收集的数据,立即为您的过程生成最佳的控制器参数。

整个过程需要几分钟,非常适合实际过程的需求。

与技术支持bob软件下载苹果

Gencoa可以提供远程或现场协助,以帮助优化您的流程,在英国,美国,德国,中国和台湾提供当地支持。支持水平和工艺技术补充了Gencoa完整的反应气体和工艺控制装置,包括磁控管、气体棒和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo Mini都可以配置多种传感器组合:
•目标电压(可用HIPIMS选项)
PEM原位(可选HIPIMS)
•光谱仪(Speedflo Mini不提供)
PEM原位(Penning)
仅对O²

Speedflo模拟器

使用提供Speedflo系统动态模拟的工具复制Speedflo用户界面。得益于Gencoa对过程控制的深入理解,该软件模拟了Speedflo特性的影响,如控制器增益和校准参数,以及系统特性,如输气管道长度。

该模拟器是一个非常有效的工具,可以提高系统用户对反馈控制的理解,以及Speedflo系统的操作。

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