Speedflo

Speedflo是一款先进的反应反馈控制系统,可改善沉积速率、涂层性能和工艺可靠性,使您的反应过程更加完美。Speedflo是围绕实际工艺的要求而设计的,并已在数百种不同的工业等离子沉积机上得到验证——每一种都有不同的要求。

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有两种选择-提供8通道Speedflo选择,或3通道Speedflo Mini - Speedflo具有灵活性,有利于广泛的反应过程,从磁控溅射到PECVD沉积。

Speedflo调音

使用Speedflo实现系统的高性能控制是一个快速和简单的过程。专利的,最先进的自动控制器调整程序提供了最佳的控制器参数,您的过程中单击一个按钮。自动调整过程是快速和有效的-和工作在任何系统或传感器配置。

在执行一个集成的系统校准和识别程序后,自动调谐器立即生成最优的控制器参数为您的过程使用先进的逆动力学算法来分析收集的数据。

整个过程只需要几分钟,完全适合实际过程的要求。

与技术支持bob软件下载苹果

Gencoa可以提供远程或现场协助,以帮助优化您的流程,在英国,美国,德国,中国和台湾提供本地支持。支持水平和工艺知识补充了Gencoa完整的反应气体和工艺控制设置,包括磁控管、气体棒和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo Mini均可配置从可选传感器中选择的传感器选项组合:
•目标电压(可选HIPIMS选项)
•PEM原位(hiims选项可用)
•光谱仪(Speedflo Mini不可用)
•PEM ex-situ (Penning)
•仅适用于O²

Speedflo模拟器

使用提供Speedflo系统动态模拟的工具复制Speedflo用户界面。得益于Gencoa对过程控制的深入理解,该软件可以模拟Speedflo特性的影响,如控制器增益和校准参数,以及气体输送管道长度等系统特性。

该模拟器是一个非常有效的工具,可以提高系统用户对反馈控制的理解,以及Speedflo系统的运行。

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