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Speedflo配置

有了两个版本的基本单元和各种传感器选项,Speedflo可以配置为非常适合许多工业流程。

硬件选项

SpeedFlo控制器有两个选项可满足不同的要求:SpeedFlo,它具有8个传感器输入和8个MFC执行器输出;和Speedflo Mini,它具有2个传感器输入和3个MFC执行器输出。

这两个控制器具有相同的算法和控制软件,但可用输入和输出的数量有所不同。两个控制器都具有以太网连接性,可与软件接口进行直接通信。

传感器选项

SpeedFlo带有许多传感器选项,可提供各种配置。

血浆发射监测(P.E.M)
血浆中的可见光包含通过光学发射光谱存在的所有物种的信息。为了监视等离子体中任何元件的强度,可以使用狭窄的带通滤波器来允许通过感兴趣的材料或气体的光的波长。

P.E.M CCD
可以通过CCD型光谱仪捕获血浆光,该光谱仪可提供该过程的通用图片。出于控制目的,感兴趣的波长是电子过滤的,并输入了控制器。这种类型的工具提供了更多信息,但是与传统的带通P.E.M方法相比,光谱仪的集成时间降低了反馈速度。

远程P.E.M(笔记P.E.M)
Gencoa的笔记P.E.M传感器可以远程监视等离子体发射水平,并且如果底物干扰与常规的P.E.M传感器有问题,则是理想的。在笔量表头上远程生成一个小的等离子体。然后,可以使用常规的P.E.M传感器来测量感兴趣波长的光强度。这代表了该过程中过量的气体。

兰姆达
Lambda传感器是一种氧探针,可提供真空中存在的氧浓度的直接信号。GENCOA LAMBDA传感器提供了一个具有良好响应速度的强大信号。像P.E.M一样,它可以从目标长度向下的多个监视区域提供信息。

目标电压
该过程中的方便传感器是磁控电源的目标电压输出。这可以用作独立信号的某些材料组合,也可以用于诸如P.E.M.这种类型的传感器的成功材料是硅和氧化铝和硝酸盐。

Hipims
Gencoa开发了传感器技术,该技术能够控制可再现沉积和bob软件下载苹果稳定系统性能的反应性HIPIMS过程。

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接下来的活动

  • 2022年6月29日至30日- 高级材料显示
  • 2022年7月13日- 真空博览会
  • 2022年9月11日至16日-22届国际真空大会
  • 2022年9月12日至15日- 等离子体表面工程
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