Speedflo配置

与基站单元和广泛的选择可用的传感器选项两个版本,Speedflo可被构造成完全满足许多工业过程。

硬件选件

所述Speedflo控制器处于两种选择,以适应不同的要求:Speedflo,其具有8个传感器输入和8个MFC致动器输出;和Speedflo赠送,其具有2个传感器输入和3个的致动器MFC输出。

这两个控制器具有相同的算法和控制软件,但是在可用的输入和输出的数目不同。两个控制器都与软件界面直接通信的以太网连接。

传感器选项

Speedflo附带了许多的传感器的选择,在宽范围的配置可用。

等离子体发射监控(P.E.M)
从血浆中的可见光包含所有经由光学发射光谱存在的物种的信息。为了监测等离子体中的任何元素的强度,窄的带通滤波器可以被用来允许通过的光的感兴趣的材料或气体的唯一的波长。

P.E.M CCD
等离子体光可以由一个CCD型光谱仪,其提供该过程的一个普遍的图像被捕获。出于控制的目的,感兴趣的波长被电子过滤并输入到控制器。这种类型的工具提供的详细信息,与以往相比带通P.E.M方法分光计减慢所述反馈速度然而积分时间。

远程P.E.M(潘宁P.E.M)
Gencoa的潘宁P.E.M传感器实现远程监控等离子体的排放水平,并且是理想的,如果基材是干扰与常规P.E.M传感器问题的。一个小的等离子体在潘宁gaugehead远程产生的。然后,常规P.E.M传感器可用于在感兴趣的波长来测量光强度。这代表来自过程的过量气体。

LAMBDA
拉姆达传感器是氧探头,其提供的浓度存在于真空中的氧的直接信号。所述Gencoa LAMBDA传感器提供具有良好的响应速度一健壮信号。像P.E.M,它可以提供从多个监控区域向下目标长度信息。

目标电压
从工艺的简便传感器是从磁控管电源输出的目标电压。这可以被用于一些材料组合作为一个独立的信号或除了次级信号如P.E.M.对于这种类型的传感器的成功的材料是硅和铝的氧化物和氮化物。

的HiPIMS
Gencoa已经开发传感器技术,使可重复沉积和稳定的系统bob软件下载苹果性能的反应性的HiPIMS过程的控制。

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产品手册

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