Speedflo配置

有两个版本的基本单位和广泛的传感器选择可用,Speedflo可以配置完美地适应许多工业过程。

硬件选项

Speedflo控制器有两种选择,以适应不同的要求:Speedflo,它有8个传感器输入和8个MFC执行器输出;Speedflo Mini,它有2个传感器输入和3个MFC驱动器输出。

这两个控制器有相同的算法和控制软件,但在可用的输入和输出的数量不同。两个控制器都有以太网连接,可以直接与软件接口进行通信。

传感器的选择

Speedflo配备了许多传感器选项,可在各种配置。

等离子体发射监测(P.E.M)
等离子体发出的可见光包含了通过光学发射光谱呈现的所有物种的信息。为了监测等离子体中任何元素的强度,可以使用窄带通滤波器来允许只通过感兴趣的材料或气体的波长。

P.E.M CCD
等离子体光可以被ccd型光谱仪捕获,它提供了整个过程的全貌。为了控制的目的,感兴趣的波长被电子过滤并输入到控制器。这种工具可以提供更多的信息,但是与传统的带通P.E.M方法相比,谱仪的积分时间降低了反馈速度。

远程P.E.M (Penning P.E.M)
Gencoa的Penning P.E.M传感器能够远程监测等离子体发射水平,如果传统P.E.M传感器存在衬底干扰问题,该传感器是理想的选择。一个小等离子体在彭宁测量头远距离产生。传统的P.E.M传感器可以用来测量感兴趣波长的光强度。这表示过程中产生的过量气体。

λ
Lambda传感器是一个氧探针,提供了一个直接信号的氧浓度存在于真空中。该Gencoa Lambda传感器提供了一个良好的响应速度鲁棒信号。与P.E.M一样,它可以提供从多个监控区域到目标长度的信息。

目标电压
一种方便的传感器是从过程中输出目标电压的磁控管电源。这可以用于一些材料组合作为独立信号或作为辅助信号,如P.E.M.,这种类型传感器的成功材料是硅、氧化铝和氮化物。

HiPIMS
Gencoa开发了传感器技术,能够控制反应性HiPIMSbob软件下载苹果过程的重现性沉积和稳定的系统性能。

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