Speedflo配置

Speedflo有两个版本的基础组件和多种传感器可供选择,可以配置为完美适合许多工业工艺。

硬件选项

Speedflo控制器有两种选择,以适应不同的要求:Speedflo,有8个传感器输入和8个MFC执行器输出;Speedflo Mini有2个传感器输入和3个MFC执行器输出。

这两个控制器有相同的算法和控制软件,但不同的可用输入和输出的数量。两个控制器都有以太网连接,可以直接与软件接口进行通信。

传感器的选择

Speedflo有很多传感器选项,有多种配置。

等离子体发射监测(P.E.M)
来自等离子体的可见光包含了通过光学发射光谱存在的所有物种的信息。为了监测等离子体中任何元素的强度,可以使用窄带通滤波器只允许材料或感兴趣气体的光的波长通过。

P.E.M CCD
等离子体光可以被一个ccd类型的光谱仪捕获,它提供了一个通用的过程图像。为了控制的目的,感兴趣的波长被电子滤波并输入到控制器。这种类型的工具可以提供更多的信息,但是与传统的带通P.E.M方法相比,光谱仪的积分时间降低了反馈速度。

远程P.E.M (Penning P.E.M)
Gencoa公司的Penning P.E.M传感器能够远程监测等离子体发射水平,如果传统的P.E.M传感器存在衬底干扰问题,该传感器是理想的选择。一个小的等离子体远程产生在彭宁测量头。传统的P.E.M传感器可以用来测量一个感兴趣的波长的光强度。这表示这个过程中产生的多余气体。

λ
Lambda传感器是一种氧气探头,它提供了真空中氧气浓度的直接信号。Gencoa Lambda传感器提供了良好的响应速度的鲁棒信号。与P.E.M一样,它可以提供目标长度范围内的多个监控区域的信息。

目标电压
一个方便的传感器从过程是目标电压输出的磁控管电源。这可以用于一些材料组合作为一个独立的信号,或者作为一个辅助信号,如P.E.M.。这类传感器的成功材料是硅、铝氧化物和氮化物。

HiPIMS
Gencoa开发了传感器技术,能够控制活性HiPIMS工bob软件下载苹果艺,实现可重复沉积和稳定的系统性能。

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