技术论文

Gencoa发表了技术论文,详细介绍了产品信息和行业技术,帮助您从流程中获得更多信息。

2018年5月:Optix用于化学传感
真正的气体传感在真空和大气,RGAs不能去。[下载

2018年3月:Gencoa Active anode
等离子体电子的磁引导。[下载

2015年12月:用于ITO工艺的GRS
可旋转磁控管用于低损伤的ITO层。[下载

2014年7月:FFE300均匀性调整
晶圆金属化均匀性调整。[下载

2014年1月:Gencoa可旋转系统
介绍一种新型的超紧凑可旋转磁控管。[下载

2013年12月:FFE75圆形磁控管
用动态等离子体扫描方法减少薄膜缺陷。[下载

2013年11月:IMC75圆形离子源
Gencoa新推出的3英寸圆形离子源在离子源市场上的灵活性达到了新的水平,适用于广泛的基于研发的应用。[下载

2013年9月:脉冲阀裂解积液细胞
由Nano4Energy和Gencoa联合开发的脉冲阀积液池对气相化合物进行精确和动态控制。[下载

2013年7月:系统几何调优
如何调整系统的几何形状来提高均匀性[下载

2013年6月:控制反应溅射工艺
反应气体控制如何实现更稳定的溅射过程[下载

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Gencoa的主要设施位于南利物浦。点击方向>