VACGAS-G16

Gencoa VACGAS-G16传感单元提供了一种工业上可靠的方法来检测组16 - The chalgens的元件。从真空加工的角度看,第16组中重要的物质是氧、硫和硒。

该传感方法使用氧化锆陶瓷(氧化锆- lambda传感器),并基于称为能斯特电池的固态电化学燃料电池。它的两个电极提供一个输出电压,该输出电压与真空中相对于大气中的气体量相对应。VACGAS-G16结合了传感器温度的快速反馈控制和气体校正,以提供作为精确分压的氧气水平。

该基本技术用于汽车发动机的氧气水平取样,以确保有效燃烧。虽然Lambda传感器已经被用于真空中感知氧气很多年了,但信号的速度和准确性还不如光学和质谱方法。与差分泵浦RGA相比,GENCOA VACGAS-G16匹配RGA和光谱方法输出的气体,具有更好的灵敏度(更少的噪声)。

与其他真空气体传感器相比,该方法的信号精度与固有的鲁棒性和低成本相结合。传感器头寿命无限,控制保证信号的稳定性和准确性。传感器可以安装在腔室壁上(标准的KF40),或作为密封组件的一部分插入真空腔室。没有敏感电子元件,因此传感器不会失效。

Nernst Cell的局限性意味着,对于大的气体变化,它可能需要5秒来响应最终的信号水平,而差分泵浦RGA需要3秒。基于OPTIX的光学方法要快得多(见下面),根据集成时间的不同,0.1到2秒。

获得“坚如磐石”的数据来跟踪真空过程中的氧气水平

VACGAS-G16对工艺室内氧气的增加有准确的响应,如下所示。

VACGAS-G16 O2气体测量在0-100 sccm变化的氧气流量进入真空室。请注意,由于本底气体的原因,腔内的氧气会略高于输入值。

VACGAS-G16 O2气体测量期间0-100 sccm的氧气流量逐步变化进入真空室。

VACGAS-G16:真空系统数据跟踪的关键补充

真空计提供必要的系统信息,了解真空室中的氧气水平有多种其他用途:

  • 真空室和工艺的基本健康-确定污染或问题
  • 每个工艺周期的质量控制数据-跟踪产品和工艺质量
  • 监控泵送和系统过程准备情况
  • 利用氧气信号调节氧气进入腔体的质量流量控制
  • 快速反馈控制,增加沉积速率-结合VACGAS-G16与speedflo控制器
  • 通过局部传感和调节过程区氧气水平来控制均匀性

潜在过程类型

  • 溅射、电子束和热真空镀膜方法
  • 等离子体和热基氧化/表面处理
  • 含硫或含硒气体的太阳能电池制造
  • 氮化装置在预氧化、后氧化、氧化氮化
  • 与真空包装系统一起使用的在线氧气监测仪

规范

  • 显示屏24 x 32毫米触摸屏
  • 热身时间,20分钟
  • 最大压力:1mbar
  • 最小测量压力:10 - 7mbar
  • 氦泄漏率< 10 - 8mbar l/s
  • 反应时间:5秒从零到满量程
  • 测量灵敏度:< 5ppm
  • KF法兰温度:最大值。185°C
  • 电源:24v DC / 1.5 A
  • 机械连接:KF40真空法兰内、外连接电缆长度可变(标准2m,其他长度请注明)
  • 输出:DB9连接器,rs232通讯(0-10V或分压(Pa, mbar或mTorr))

配件

  • 不同的KF或CF真空法兰尺寸
  • Speedflo活性气体控制器(3和8通道)
  • 脉冲S和Se渗出细胞

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